中古 NIKON NSR S610C #9399042 を販売中

NIKON NSR S610Cは、高精度、高精度、およびスループットを提供する高度なウェーハステッパーです。最も要求の厳しい半導体加工アプリケーションに適しています。このS610Cは、多目的かつ自動化された操作を備えており、多数のパラメータをオンザフライで変更する機能を備えています。ニコンの特許取得済みのNIRADイオンビーム反射（IBR）と高度なImprint Stepper技術を活用し、最高のプロセススピードを実現しています。S610Cは、端正な利点の広い範囲を持っています。NIKONをリードするオートフォーカスとウェハスキャンシステムにより、ウェーハ表面の地形変化を正確に検出し、リアルタイムパラメータに基づいて自動的にフォーカスを調整し、毎回最高の画質を保証します。さらに、11nmの精密アライメントシステムを備えており、現在利用可能な他のシステムよりも正確で迅速なアライメント操作を可能にします。効率的な基板マッピングにより、先進的な半導体プロセスにおいて欠かせないチップ上の残留電荷を迅速に検出および除去することができます。さらに、エネルギー効率に優れた渦電流生成により、複雑な操作を実行する際に最適な精度と柔軟性を提供します。S610Cはまた、任意のパターンを認識し、必要に応じて柔軟にそれらを公開する機能を提供します。最後に、その印象的なウェーハの生産時間は、最大1,450ウェーハ/時間の実用的な容量を与えます。これにより、最も要求の厳しい半導体アプリケーションにも適しています。NSR S610Cは、すべての生産能力、精度、およびスループットを提供する、信頼性が高く、効率的で汎用性の高いウェーハステッパーです。