中古 NIKON NSR S306C #9379645 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9379645
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Scanner, 8"
Main system: MCSV
Operating system: Open VMS / Windows NT / Linux
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD) / CD Drive
PPD
Unit system:
Wafer stage: Air
Chuck type: Pin chuck, 8"
Reticle alignment: SRA, VRA
Wafer alignment: LSA, FIA
BMU: Normal type
KRF Laser: CYMER Laser 7401
Auto focus: Multi
Chamber type: Sendai
Model no: S37
Wafer loader:
Loader type: Type 4
Wafer type: Notch
Flat zone position: 6 o'clock
In-Line: Left
Cassette: Right
Control rack position: Left
Reticle loader:
Reticle size, 6"
Library: 20-Slots
Bar code system:
No case
Reticle
2003 vintage.
NIKON NSR S306Cは、半導体製造プロセスにおけるフォトリソグラフィに使用される高性能ウェハステッパーです。高度な光学系や高精度のモーションコントロールシステムを駆使してウェーハを正確に整列させ、さまざまな回路レベルを表面にパターン化します。NIKON NSR-S306Cの6インチラウンドベース生産ウエハは、2つの独立したセンサーヘッドで構成されており、スループットと柔軟性を向上させます。ウエハステッパーは、レジスト層とグランド層を含む複数の異なるレベルを検査するだけでなく、切断層と接着層の検査も可能です。さらに、装置は10xおよび20xのスキャン拡大を行うことができます。NSR S306Cは高速オートフォーカス方式を採用し、液体レンズを使用して高速かつ正確なアライメントを実現しています。さらに、ステッパーには12ステーションレンズチェンジャーが搭載されており、自動レンズ交換やウェハローディングに最適化されたアルゴリズムが搭載されています。高速スキャンを可能にし、生産工程のサイクルタイムを短縮します。NSR-S306Cには、高度な照明ソースも備えており、高度なパターニングプロセスに最適な露出を可能にします。調節可能な露出レベルは異なった露出地帯のより高い正確さそして改善された適用範囲を保障します。NIKON NSR S306Cは、高度なデータ収集および制御システムも備えています。これにより、露出プロセスを最適化するために、露出日と結果のロギングを自動的に行うことができます。メンテナンスに関しては、テストパターンが内蔵された使いやすい自動メンテナンスツールがあり、ダウンタイムを最小限に抑え、ウェーハステッパーの寿命を延ばすのに役立ちます。また、ニコンNSR-S306Cは、低消費電力でCO2排出量の削減にも貢献し、環境にやさしい資産です。NSR S306Cは全体的に、高精度とスループットを提供する高性能ウェーハステッパーであり、プロセスの最適な品質を維持しながらモデルサイクル時間を短縮します。その先進的な光学系、高精度モーションコントロールシステム、照明源、メンテナンス機器は、半導体製造工程で優れた結果をもたらします。
まだレビューはありません