中古 NIKON NSR S306 #9229321 を販売中

NIKON NSR S306は、NIKONが設計・製造した高精度イメージング装置です。このウェーハステッピングシステムは、先進技術、最先端の性能、半導体およびMEMS業界向けの幅広い機能を提供します。NSR S306は、ジャイレーション、コンタクトホール、エッジイメージング、レチクルを15 µmまで撮影することができます。このユニットは、多目的な生産環境に対応するように設計されており、高価な機械的セットアップ時間を必要とせずに、異なるジョブ間の高速な切り替えを可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと包括的なソフトウェアスイートは、学習と操作が容易であることを意味し、高品質のイメージングを必要とするアプリケーションにとって価値のある投資となります。NIKON NSR S306は、高解像度の結果を提供するだけでなく、層間およびダイツアライメントの提供にも長けています。また、画像認識技術を搭載しており、自動光学調整が可能で、正確なアライメントが可能です。NSR S306は、ブラックライトフィルターとオートシャッターゲートを内蔵しているため、露出を行うための安全な環境でもあります。これにより、紫外線や可視光への不要な露出を防ぎ、イメージング中に敏感なウェーハを損傷する可能性があります。オートシャッターゲート機能は、露出と開発プロセスの間のギャップを埋め、レーザーへの露出を最小限に抑え、露出画像の品質を向上させます。このアセットには高性能のSIRIUSフィールドジェネレータも搭載されており、さまざまなイメージングジョブに対応する± 45°ロッドピンチ調整可能な傾きがあります。SIRIUSフィールドジェネレータにはサーマルブランケティングモデルが組み込まれており、厳しい条件で動作していてもステッパーからの歪みを排除します。NIKON NSR S306は、高精度アライメントを行うための高度なSEIKI自動センタリングメカニズムも備えています。この装置により、ウェハの位置精度を犠牲にすることなく、ドリフトフリーの画像アライメントが可能になります。さらに、NIKON Scanning Mirrorは投影ビームをレチクルに集中させることでスポットサイズが小さくなり、画像解像度が高くなります。NSR S306は全体的に、シングルレベル/マルチレイヤーウエハの高品質なイメージングに合わせて設計および製造された高度なウェーハステッパーです。最先端の画像認識技術、オートシャッターゲート、SIRIUSフィールドジェネレータ、SEIKI自動センタリング機構など、さまざまな高性能な機能を備えており、ピンポイント精度と信頼性を提供します。