中古 NIKON NSR S202 #9299398 を販売中

ニコンNSR S202は、半導体デバイスの製造において高い精度を提供するために設計された精密リソグラフィ装置です。優れた光学系とモーションコントロールを内蔵し、画像忠実度と幾何学的精度を確保するデュアルフィールドウェーハステッパーです。このシステムには高精度のワイドバンドガルボスキャンミラーが搭載されており、露光プロセス中の画像解像度を維持しながら、同時にフィールド露出を提供します。NSR S202の軸外照明設計は、拡散照明と偏光照明制御を組み合わせて、ステッピングフィールドサイズ全体で最適な露光均一性を実現しています。テレセントリックズームレンズは、ズーム誤差や異常がない、より大きな半導体デバイスの機能サイズの上に平坦な焦点面を維持するために使用されます。NIKON NSR S202の先進モーションユニットは、5 × 5、4 × 4、3 × 3のフィールドサイズを含むさまざまなスキャンモードを提供し、正確な制御のための速度と加速度を微調整します。精密なアライメントマシンはアライメント精度と再現性を確保し、レンズ間の高さと位置制御は高精度のXYラスターステージによって設定されます。NSR S202には、繰り返し可能で欠陥のない処理を保証するためのさまざまなプロセス制御機能が含まれています。NIKON特許取得済みのフォトモニタリングツールを搭載しており、ステッパー露光時に直接パターン観察を行うほか、NIKON ZyGo Sensorプロセス制御ツールセットにより自動欠陥検出・補正機能を提供しています。また、ニコンNSR S202には、欠陥登録・検査が可能なデュアル波長レーザーマーク検出アセットを搭載しています。高度な破片管理モデルは、アクセスしやすいトレイに破片を集めることで、ウェーハの汚染を最小限に抑えるように設計されています。NSR S202は、高精度で欠陥のない半導体デバイスの最高出力を保証するために、優れた光学、モーションコントロール、およびプロセス制御機能を組み合わせた先進的なデュアルフィールドウェハステッパーです。