中古 NIKON NSR FX-601F #9293644 を販売中
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ID: 9293644
ヴィンテージ: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601Fは、あらゆるレベルのリソグラフィ用途において非常に正確で効率的なソリューションを提供する高性能ウェーハステッパーです。この汎用性の高いツールは、0。9秒の露光時間の印象的な速度で動作することができ、サブミクロンパターンから極端な精密機能まで、あらゆる種類の基板をサポートすることができます。高度なレーザーベースのプロジェクションオプティクス装置を搭載し、比類のない高精度なフォーカスと精度を提供し、従来のステッパーに一般的に関連する潜在的な異常を排除します。NIKON NSR FX 601 Fの非常に高速な再現性により、パターンの複雑さや精度にかかわらず、システムの光学性能は比類のない精度を維持できます。さらに、ステッパーは20nm以下の解像度でパターンの正確な露出を生成するように設計されています。ステッパーの高度なオートメーション機能により、あらゆるフォトマスクに対して迅速に再構成され、オペレータのトレーニングと時間を最小限に抑えて最高レベルの精度を得ることができます。NSR FX-601Fは、ユーザーの操作をさらに容易にするための高度なタッチスクリーン機能も提供しています。このユニットは、露出精度や強度などの機械機能に簡単にアクセスして変更できる柔軟性を提供します。さらに、ステッパーには直感的なプログラマブルインターフェイスが装備されており、露出データ取得ソフトウェアなどのさまざまなフロントエンドツールと統合して、リソグラフィ性能と安定性をさらに向上させます。NSR FX 601 Fは、ユーザーに卓越した価値を提供し、最終的には最高の性能と精度を実現しながら、高速サイクルタイムを実現します。これは、最も困難な露出シナリオでも、優れた品質と信頼性を提供します。非常に洗練されたデザインにより、ステッパーは最高の一貫性で高精度の結果を一貫して提供します。全体的に、これは、任意のサイズのリソグラフィーアプリケーションのニーズを満たすことができる強力で信頼性の高いウェーハステッパーをユーザーに提供します。
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