中古 NIKON NSR-2205I9C #293636235 を販売中

NIKON NSR-2205I9C
ID: 293636235
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR-2205I9Cは、高精度、高スループット、高スループット性能を提供する高度なウェーハステッパーです。NIKONの高度なNSRリソグラフィ技術に基づいており、幅広いリソグラフィ用途を提供するように設計されています。NIKON NSR 2205 I9Cは、広いスキャンフィールドを備えた軽量ウェーハステッパーで、基板の広い領域を高速に撮影できます。大型の単面フィールドとデュアルプレーンフィールドを備えており、複数の基板を同時に露出できます。また、1ラインあたりの最大解像度は1。2ミクロンで、1時間あたり最大50ウェーハの高スループットを提供します。NSR-2205I9Cは、高精度レンズ、高度なリソグラフィーメニュー、高度なオートメーションユニットの融合により、高いリソグラフィ精度を備えており、プロセスにかかる時間を短縮できます。この機械は、単純なパターンから複雑な形状に至るまで、リソグラフィーメニューの再構成とカスタマイズを可能にします。NSR 2205 I9Cは高度にカスタマイズ可能で、フルウェーハ露出、スプリット露出、ダブルパターニング、マルチパターニングなど、いくつかのリソグラフィーオプションを提供します。また、マルチレイヤーパターニングもサポートしているため、ユーザーは異なるレイヤーの異なるトポグラフィを記録または保存できます。このツールは、基板の高精度なアライメントも備えています。アセットの革新的なバージョンには、ユーザーがCCDカメラにリンクすることを可能にする追加ソフトウェアも付属しています。NIKON NSR-2205I9Cは、3Dモーターモデルも搭載しており、メンテナンスを最小限に抑えながら、ウェーハ加工を正確かつ迅速に実現します。また、高度な故障の検出と修正、データ取得とロギング、パターン形成ツールが付属しています。また、ウェーハあたりの低コスト生産も可能です。さらに、このシステムにはVirtual Machine Protocol (VMP)が付属しており、CAD機能と視覚化機能を簡単に統合できます。NIKON NSR 2205 I9Cは、高精度、高スループット、高スループットスループット性能を実現する高度なウェーハステッパーです。広いスキャンフィールド、高度なリソグラフィーオプション、3Dモーターユニット、VMPにより、ユーザーは経済的なコストで精度を達成できます。低コストのウェーハ生産と強力なソフトウェアにより、高度なリソグラフィーソリューションをお探しのユーザーに最適です。
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