中古 NIKON NSR 2205 i12D #9263044 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Dは、半導体デバイス製造の高度なプロセス向けに設計された高性能ウェーハステッパーです。最大0。25 µmの解像度をサポートする最先端のスキャンステッパー装置であり、高速かつ正確なスキャン機能を備えています。ウエハステッパーは、液浸レンズなどの最新のリソグラフィーツールで使用するように設計されており、信頼性の高い高精度な生産を提供するために、さまざまな最先端技術で構成されています。NIKON NSR-2205I12Dは、高精度の12ビーム可変ビーム（VSB）リソグラフィーシステムを搭載しています。このユニットは、高精度と可変焦点制御を提供し、要求の厳しいアプリケーションに安定性と信頼性を提供します。また、12ビーム構成により、優れたフォトマスク加工が保証され、汚染が低減され、完成品との一貫した忠実性が保証されます。ステッパーには、最新のアクティブアライメントセンシングおよび補正技術が搭載されており、最高品質のアライメントとオーバーレイ精度を確保し、デバイス間のバリエーションを最小限に抑えます。NSR-2205I 12Dの中心には、高度に構成可能であり、リソグラフィ、イメージング、コンピューティング、同期機能の広い範囲を提供する強力な制御マシンがあります。この制御ツールは、デバイスの製造中に使用される必要なプロセスの多くを自動化し、面倒な手動検査と調整の必要性を排除し、生産プロセスを合理化し、最終的にコストを削減するのに役立ちます。Advanced Leveling Stages （ALS）は、ステッパー資産の迅速かつ円滑な運用を確保するために、NSR-2205I12D用に特別に設計されています。このロープロファイル、デュアルレール、エアベアリングステージは非常に安定しており、精度を1µmするために調整可能です。ALSモデルは使いやすく、複雑な動きや動きのために多くの磁気駆動ステージを相互接続することができます。NSR 2205 I12 Dには、EIレンズ技術やRICイメージングによるリフレクティブイメージングが搭載されているため、アライメントやオーバーレイ配線の追加が不要となり、従来のレンズシステムと比較して精度が向上します。また、ウェーハステッパーは、マスクの書き込みやプロセス制御など、幅広い高度なプロセスをサポートしています。全体として、NIKON NSR 2205 I12 Dは、画期的な性能と信頼性の高い製造を提供するように設計された高度なスキャンステッパー装置です。最先端の技術と強力な制御システムを組み合わせたステッパーは、あらゆる最先端の半導体デバイス製造に最適です。