中古 NIKON NSR 2205 i12C #9379646 を販売中
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ID: 9379646
i-Line stepper, 6"
Chamber temperature: 23°C
Chamber type: S16
NA Variable system
Reticle, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field: 22 mm
Reticle loader: Standard, 13-Slots
Reticle case: Standard, 6"
Pre alignment-2
Wafer loader: Type II
Chip leveling
Wafer carrier table: Left, right
Alignment sensor: LSA, FIA
Body-OP Ruck cable: 3 m
Rack type: Right
Lamp power: 2000 W
SHRINC Type 3 Illumination
Wafer holder flatness: ≤2.5 μm / 200 mm
Field inclination: Within 0.35 μm
Leveling setting accuracy: Within ±1.5 sec
Lens distortion: ≤±0.50 µm
Reticle blind setting accuracy: 0. 4mm - 0.8mm
Exposure power: ≥700 mW/cm²
Illumination uniformity: ≤±1.5%
Integrated exposure dose control: ≤±1.0%
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Reticle rotation: |M|+3σ ≤20 nm
Stepping accuracy: 3σ ≤45 nm
No wafer edge exposure
No signal tower
No PPD
No reticle barcode reader
No extend R-library
No In-line
Overlay:
LSA: |M|+3σ ≤75 nm
FIA: |M|+3σ ≤75 nm
Accuracy: ±55 nm
Wafer pre-alignment repeatability:
X, Y, θ: 3σ ≤ 15 μm
Y-θ: 3σ ≤ 20 μm
Resolution: 0.45 μm
Magnification: 5:1
Depth of focus: 2.00 μm
Exposure wavelength: 365 nm
1997 vintage.
ニコンNSR 2205 i12Cは、サブミクロンパターニング精度と高速露光時間を提供するウェハステッパーです。最大露出フィールドサイズは12インチ（305 mm）、最大ウェーハ径は8インチ（200 mm）です。その光学系は0。63の数値開口（NA）を持ち、0。2 μ mまでの分解能を可能にします。アイリスシャッターを搭載した先進的なUV光源は、0。5 mJの精度で± 0。5％の精度で13 mJ/cm²までのユーザー選択可能な露出エネルギーを提供します。NIKON NSR-2205I12Cは、すべての主要なレジスト材料の開発および検証された条件を含む、さまざまなプロセスソフトウェアドライバから選択できるようにすることで、さまざまなユーザー要件をサポートするように設計されています。露出に必要なプロセスレシピは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して管理できます。さらに、使いやすい検査ツールを使用すると、装置（MAPS）によって自動化されたオフアクシス統合された高さ、幅、iso-or-resist測定により、ステッチとエリアの両方の露出を検査および監視できます。ウェーハステージシステムは、露出時の高精度なマルチフィールドステッチとステージ振動を低減します。さらに、シンプルな設計により、消耗品へのアクセスが容易になり、メンテナンスとコンポーネントの変更が簡単になります。このユニットは、ハイスループットを実現する自動ウェーハアライメントマシンも備えています。NSR 2205 i12Cウェーハステッパーは、ユーザーがサブミクロンパターニング精度を簡単かつ迅速に達成できる高度なステッパーです。プロセスレシピ、簡単なメンテナンス、自動化されたウェーハアライメントツールを管理するための高性能で直感的な方法を提供します。高度なUV光源やアイリスシャッターエンハンサーなどのその他の機能により、この資産は最も要求の厳しいリソグラフィ用途に適しています。
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