中古 NIKON NSR 2205 i11D #9276272 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、エレクトロニクスおよび半導体産業におけるより複雑で小型化された部品および部品の需要の増加に対応するために設計されたハイエンドのマイクロリソグラフィ装置です。高度な技術と自動化されたプロセスにより、NIKON NSR-2205I11Dは高度な精度とウェーハの均一性を提供します。NSR 2205I11Dは、真のアライメントとビデオオーバーレイ機能、3次元（3D）イメージングシステム、完全に自動化されたスキャンおよびバックラッシュ管理、優れた空中画像安定性を備えた最先端の機能を備えた、半導体ウェーハの正確かつ再現可能な露出を提供するように設計されています。このシステムには、スループット容量を向上させるためのデュアルウェーハステージ、独自の自動ステージレベル補償ユニット、および再現性の高い信頼性の高い露出のための高解像度デジタルコントロールマシンも含まれています。NIKON NSR-2205 I11 Dは、衝突検出などの高度な技術を組み合わせて、層の厚さやその他の材料欠陥を防ぎ、各層に最適な露出を決定するための線量管理（DML）を行います。このツールの全機能データ収集資産（DAS）は、垂直アライメントオーバーレイや登録解析機能を含む高度なリアルタイム画像登録解析を提供します。NSR 2205 I11 Dには、複数のウェーハ上のウェーハプロセスのトレンド分析と比較グラフを提供するオフライン機能も含まれています。NSR-2205 I11Dには、マスクパターンを正確に再現可能にするために、高度なマスククランプとX/Yステージも組み込まれています。この機能により、露出前に正しいマスク登録とウェーハとの適切なアライメントが可能になります。また、マスクのずれやその他の材料欠陥のない長寿命の精密アライメントにも適用できます。このモデルは、フィールドの均一性の特性評価を使用して、重要なプロセスをサポートするために登録精度を向上させます。NIKON NSR-2205 I 11 Dには、高速で高解像度のモータードライブX/Yステージが搭載されており、高精度のウェーハアライメントが可能です。その高度なモーター制御装置は、ステッパー要素の正確なアライメントと位置決めのために最大10nmの分解能を提供します。さらに、ワンステップ検査システムを備えており、個々の機能を検査するためのコストのかかる待ち時間を排除し、スループットを向上させるための調整可能な露出サイクルを提供します。要するに、NIKON NSR-2205 I11Dは、より小さな寸法、より大きな品質管理、迅速な納期を必要とするプロジェクトに最高の精度、再現性、精度を提供するように設計された最先端のウェーハステッパーです。その高度な技術、高度なセンサー、自動化されたプロセスは、プロセス結果の最高品質と信頼性を保証します。また、優れたイメージング、均一性、およびプロセス管理機能を提供し、投資されたお金に真に優れた価値を提供します。