中古 NIKON NSR 2205 i11D #9213593 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、最先端の半導体リソグラフィに使用されるマルチフィールド処理機能を備えた最新世代の高精度ウェハステッパーです。最大解像度は0。17 μ mで、市場をリードする1時間あたり12,000ウェーハ（WPH）スループットです。究極のサイクルタイムパフォーマンスを提供し、高品質の画像と柔軟性を実現します。この装置の特徴は、19nmのステージ精度、オートフォーカススポットサイズ制御機能、軸外照明、反射防止コーティング、偏光制御、マルチフィールドステッチ、および自動分解能の最適化のための強力な遺伝的アルゴリズムなどです。また、さまざまなオンラインシステム調整を可能にする新しいユーザーフレンドリーなタッチスクリーンモニターを備えています。ステッパーは、左から右へのモードと右から左へのモードの両方で幅広い露出オプションを提供し、ユニットを単層、二重層および複数層の露出に使用することができます。また、最大200mmのより大きな基板サイズに対応し、基板全体にわたって3 μ m以上のフラット精度を実現しています。このマシンはまた、オン軸源、オフ軸源、7つのラミネーション源など、幅広い照明およびシールド源をサポートしています。このツールは高精度の部品で作られており、真空プラットフォームから構築され、高シリカナノゲル絶縁材を使用して安定化されています。NIKON NSR-2205I11Dは長いワーキング・ライフのために非常に信頼でき、信頼できます。また、より広い温度範囲で動作する場合、精度とWPHを維持するため、非常に効率的です。さらに、メンテナンス性も低く、従来モデルよりも45％低消費電力で、2年ごとの定期メンテナンスや5万回の露出のみを必要としています。NSR 2205I11Dウェーハステッパーは、業界で最高品質のリソグラフィ画像を作成できる信頼性が高く、強力で効率的な機械です。これは、リソグラフィープロセスにおいて最大限の性能と精度を要求する半導体メーカーにとって理想的なツールです。