中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9379641 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12Bは、半導体メーカーが使用する最先端のウェーハステッパーです。ユニークな統一インデックス装置、双方向アライメント、高度な超精密制御を備えています。EX12Bは、最も要求の厳しいデバイス製造アプリケーションのニーズを満たすために構築されています。このシステムは、ウェーハ交換、保管、自動化されたツール制御を簡素化する設計されたキャリアに基づいたウェーハ輸送の多目的な方法を使用します。このユニファイドインデックスユニットにより、ウェーハを正確な位置に1ミクロンの解像度でさまざまな位置に正確に配置することができます。これにより、マシンの光学系は、単一の設定で複数のレイヤーを確実に処理することができます。双方向アライメントツールは、真の確率的でないパターン配置を可能にし、複雑な設計バリエーションに柔軟に適応します。NIKON NSR-2205EX12Bの光学パッケージは、加工およびアライメント用の4つのレーザービームで構成されています。レーザーは、高倍率でも最大4ミクロンの精度を提供し、正確なパターン配置とオーバーレイ精度を保証します。このアセットには、サブミクロンレベルの解像度を向上させる2つのマイクロ回折レンズも搭載しています。このモデルは、複数の数値レシピにプログラムできる独自の超精度コントローラによって駆動されます。コントローラは、最高のパターン配置精度を維持するために、レーザービームのパスを正確に計算します。この高度なコントローラは、デバイスの歩留まりの一貫性を達成するための機器の機能を大幅に強化します。精密コントローラに加えて、システムはさらに制御と監視を提供する複数の機能を備えています。これらの機能には、リアルタイムプロセスモニタ、欠陥検出ユニット、および熱補償機が含まれます。レーザーベースの欠陥検出ツールは、デバイスの汚染を防ぐための重要な寿命メンテナンスソリューションを提供します。最後に、この資産は、最も要求の厳しい半導体製造環境のために設計されています。本質的に耐塵性があり、高い動作温度を維持することができ、タイトなオーバーレイと分解能のための低い振動を有する。NSR-2205 EX12Bにより、常に縮小するデバイスサイズは、最も困難なデバイスで自信を持って処理することができます。