中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9252483 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12Bは、半導体デバイス処理の品質向上を目的とした高精度ウェハステッパーです。最大12インチのサイズのウェーハに対応するため、幅広い光学系およびナノスケールアライメント精度で設計されています。このウェーハステッパーは、交換可能なフルフィールドおよびマスターフィールドリソグラフィーツールなど、さまざまなレチクルをサポートすることができます。NIKON NSR-2205EX12Bには、X軸とY軸の超精密なレチクル移動を可能にする高度なレチクル段が装備されており、フォトリソグラフィーマスクの正確なアライメントと登録が可能です。また、リアルタイムオーバーレイ測定用のXYGスキャナや、投与量を自動制御できる独自のSmartDoseTM機能を搭載しています。イメージング機能の面では、NSR-2205 EX12Bは波長248nmで17nmの線幅まで解決することができます。また、i-line、 g-line、 krypton fluoride （KrF）レーザー、極端な紫外線（EUV）光源など、さまざまな照明オプションを備えています。フォトレジスト、ネガティブトーンレジスト、ドライフィルムレジストなど、様々なレジスト素材を使用することも可能です。NIKON NSR 2205EX 12Bは、軸外照明構成により優れたスループットを提供します。このステッパーは、0。3mmから1。0mmまでの幅広いウェーハ厚を扱うことができます。さらに、革新的なヒーターアシスト技術により、最新世代のレジストをサポートしています。データ管理の面では、NSR 2205 EX12Bはニコン独自のCMOS400技術をサポートしており、データ収集と画像転送を同時に行うことができます。これにより、すべての重要なデータがNIKON NSXソフトウェアに自動的にアップロードされ、さらなる分析が可能になります。NIKON NSR 2205 EX 12Bは、優れたリソグラフィ性能とスループットを提供する堅牢なウェーハステッパーです。その先進的な光学およびナノスケールの精度は、半導体デバイスメーカーが非常に高い精度と精度のデバイスを製造するのに役立ちます。包括的なデータ管理機能により、デバイスに関連するすべての関連情報が効率的に保存および追跡されます。