中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9238672 を販売中
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ニコンNSR 2205 EX12Bは、集積回路のリソグラフィ生産用に設計されたウェハステッパーです。最先端の第2世代光学リソグラフィ装置として、出力分解能0。45ミクロン(12。5 cm)を備えています。高度なArFエキシマレーザー光源と高精度ニコン投影光学の2つの技術を組み合わせて、高精度とスループットを実現しています。このウェーハステッパーには、高度なウェーハステージが搭載されており、登録精度が高く、パターンをウェーハに正確かつ最小限の歪みで転送することが可能です。NIKON NSR-2205EX12Bは、最先端の半導体製造に適した機能を多数備えています。ステッピングコントロールユニット、ルールベースの欠陥検査システム、高効率オートフォーカス装置を搭載しています。このウェーハステッパーは、自動ウェーハアライメント、ステップアンドリピートプロセス、レチクル調整など、幅広い操作が可能です。さらに、その高度な半導体プロセスは、+/-3パーセントの精度で0。45 umまでの分解能を生成することができます。また、NSR-2205 EX12Bにはレチクルステージが装備されており、異なる種類のレチクルをリソグラフィ工程に設置することが可能です。自動露出装置を備えており、リソグラフィー工程の露出と強度を自動的に制御します。さらに、このウェーハステッパーは、歪みやずれのない優れた画質を提供します。ステージとレチクルのステージは、非常に信頼性と耐久性の両方です。NSR 2205 EX 12Bは、高度なリソグラフィーツールに加えて、理想的なウェーハステッパーを実現するさまざまな機能を備えています。その高度なソフトウェアは、洗練されたプロセスとパターン制御を可能にします。また、ツールのパフォーマンスとウェーハアライメント精度を向上させるAutoCalibrateソフトウェアも提供しています。また、NIKON NSR 2205EX 12Bにはユーザーフレンドリーなインターフェースが搭載されており、ツール内のオブジェクトを簡単に移動、コピー、再スキャンすることができます。全体として、NIKON NSR-2205 EX 12 Bは、集積回路のリソグラフィ生産用に設計された先進的なウェーハステッパーです。優れた分解能と精度を備え、ハイエンド半導体製造に適したさまざまな機能を備えています。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高度なソフトウェア、自動化されたウェーハアライメントも備えています。これらの機能は、今日の市場で最も先進的なウェーハステッパーの1つになります。
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