中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9207018 を販売中

ニコンNSR 2205 EX12Bは、厳格なフォトリソグラフィ用途向けに設計されたフルフィールド、高精度のウェーハステッパーです。これは、優れたイメージング性能を提供し、回路設計をウェーハに転送するために必要なフォトリソグラフィ工程の数を減らすために設計されています。NIKON NSR-2205EX12Bは、63Xの高NAレンズを採用し、イメージフィールド回転機能を備えており、様々なパターンに対応できます。ステップアンドスキャンモードで動作するため、レイアウト設計の柔軟性が向上し、より大きな解像度でより大きな表面領域をカバーすることができます。長寿命シャッターとハイエンドの高度なレーザダイオード装置を備えたNSR-2205 EX12Bは、高い再現性と信頼性を提供します。パターン転送の精度も向上し、高品質なデバイスを製造することができます。NSR 2205EX 12Bは高いスループットを持ち、最大400WSPMの速度を達成できます。シリコン、石英、ガラス、金属、ポリマーなど多種多様な基板や各種回路設計に対応し、柔軟性に優れています。ステッパーはすべてのNIKONシステムと互換性があるように設計されています。NIKON NSR-2205 EX 12 Bには、オートフォーカスとオートアライメント機能、ダイアタッチメント機能、内蔵リソグラフィーとレジスト検査システム、デジタルズームイン/アウト機能、インプレースフォーカス、多軸ヒーターユニットなど、数多くの機能が搭載されています。NIKON NSR-2205 EX12Bのi-Line照明装置は、光による欠陥を低減する広域照明を提供しています。ステッパーには、石英窓を備えた専用のチューブと、汚染を防ぐ価値伝達ステージがあります。正確な作業を実現するため、NSR 2205 EX12Bは高精度の投影光学ツールで設計されています。これは、0。1ミクロンの直線性と0。5ミクロンの顕著な再現性を有する高速X-Yステージを使用しています。NSR-2205 EX 12 Bは、効率、精度、柔軟性、パフォーマンスを兼ね備えた信頼性の高い強力なウェーハステッパーです。高度なフォトリソグラフィ用途に適しており、高精度の部品や製品を作成するために使用することができます。