中古 NIKON NSR 2205 EX12B #293589625 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12Bは、高精度ウェーハ加工に特化した先進ステッピングモデルです。スループットの向上、精度の向上、メンテナンス要件の削減など、従来のステッパーに比べていくつかの利点があります。NIKON NSR-2205EX12Bは、2レベルのパワフルなZ軸駆動装置を搭載し、スムーズな動作と正確なステージムーブメントを実現します。最初のレベルのドライブシステムは、手動で調整可能なシャントでサポートされています。セカンドレベルドライブユニットには、高速でも低騒音・低振動を実現する内蔵のリゾルバが搭載されています。これにより、ドリフトなしでウェーハの広い領域を正確かつ再現可能なスキャンが可能になります。ステッパーには、CCDカメラを内蔵したフィールドエミッション電子顕微鏡（FESEM）も搭載しています。これにより、サンプル表面の高分解能イメージングが可能になり、微妙な異常をより正確に検出することができます。FESEMは、ウェーハ表面の構造の現場操作にも使用できます。これは、残留物の除去、露出パラメータの調整、露出中の処理条件の制御に役立ちます。また、ステッパーには高精度ウェーハアライメントの露出登録機構が搭載されています。これにより、ウェーハパターンの高精度な登録が可能となり、局所フィデューシャルのミスアライメントを迅速に補正することができます。また、自動校正ルーチンが内蔵されており、フォーカスを素早く調整して適切なアライメントを確保します。ステッパーには、露出中のずれを修正する自動ステージアライメント機能も含まれています。NSR-2205 EX12Bは、ウェーハ処理のスループット、精度、メンテナンス要件を改善するために設計された高度なステッパーです。強力なデュアルレベルドライブツールを使用して、ドリフトのないスムーズな動作を実現し、FESEMにより、高解像度のイメージングとウェーハパターンの現場での操作を可能にします。さらに、ステッパーには自動キャリブレーション機能と自動ステージアライメント機能が搭載されており、精度と再現性を確保します。これらのすべての機能により、NSR 2205EX 12Bは、高精度で信頼性の高いウェーハステッパーをお探しのお客様に最適です。