中古 NIKON NSR 2205 EX12B #293589616 を販売中
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ニコンNSR 2205 EX12Bは、自動フォトリソグラフィ装置であるウェーハステッパーです。半導体業界に欠かせない製造装置であり、シリコンウェーハにデザインを合わせて露出させるために使用されます。NIKON NSR-2205EX12Bは、最大300mmのウエハサイズに対応し、露出安定性と画質向上を実現する独自のI-Lineガラスコーティングを採用しています。露光波長は248〜365ナノメートルで、バイナリ、1/2トーン、グレースケールの露光が可能です。明るいフィールドと暗いフィールドの2つの照明モードがあります。明るいフィールドはバイナリ、1/2トーン、またはグレースケールの露出に使用され、暗いフィールドは薄線および狭線の設計レイアウトに使用されます。Total Image Motion Control (TIMC)システムは、ウェーハ上の回路の正確かつ正確なアライメントと露出を提供します。これは、作業チップの高い歩留まりを確保するための重要な要素です。TIMCシステムはユーザーフレンドリーで、グラフィカルユーザーインターフェイスと40の事前定義されたパラメータのパレットがあります。このマシンはクラス最高の機能を備えており、高いレベルの柔軟性と精度を備えているため、信頼性が高く効率的なツールとなっています。Head Computed Autofocusを搭載しており、各フィールドの露出中に自動的にフォーカス測定を行い、すべてのウェーハで最高品質の一貫性を確保します。NSR-2205 EX12Bは、業界で最も広く受け入れられているマスクルールチェッカー規格であるNIKON SPEC規格に完全に準拠しています。これにより、基本的なボックスシェイプから複雑なマイクロサイズのレイアウトまで、幅広いパターンで使用でき、別個のカスタムメイドのマスクが不要になります。また、統合されたRecipe Control Program (RCP)は、ファイルのインポートからラスタライズまで、迅速で簡単で効果的なデータ管理を提供するように設計された包括的なプロセスソフトウェアです。これにより、ウェーハステッパーのデータ準備にかかる時間が短縮され、操作プロセスが簡素化されます。NIKON NSR-2205 EX12Bは、フォトリソグラフィープロセスに優れた性能を提供し、最も過酷な精度要件を満たすウェーハステッパーにより、コストの削減と歩留まりの向上を目指す半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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