中古 NIKON NSR 207D #293591966 を販売中

NIKON NSR 207D Wafer Stepperは、信頼性と高品質の回路パターンをウェーハ加工にもたらす生産グレードのウェーハステッパーです。デバイスの製造から、家電製品のバックエンド生産まで、その能力はさまざまです。NIKON NSR 207 Dは、高度なリソグラフィ、強力な光の露出、高速アライメント、敏感な調整などの高度な機能を組み込んだImTech/Ni-Plusモデルです。NSR 207Dは、デバイスファブリケーションのために、独自の「ロブスターアイ」レンズ技術を用いた先進的なLithography Technology （ALT）を採用しています。この技術により、露光時間が短縮され、高解像度の画像が得られるため、半導体構造の1。2 µm接触パターンに最適です。ウェーハステッパーには、高度な位置決めおよび測定システムも付属しています。これらのシステムは、ウェーハパターンのアライメントエラーを迅速かつ正確に検出し、生産時の収率を向上させることができます。また、単一のノンストップアライメントプロセス中に微細な欠陥を正確に検出する強力なマーク検出装置を備えています。ウェーハステッパーはまた、フォトレジストの滑らかで均一な開発を保証する強力な光露出システムを持っています。これは、露出ユニットに一連のコマンドを発行し、露出領域を戦略的にマッピングすることによって行われ、ホットスポットのない高品質のデバイスパターンと焦点を当てた光の強度の変化がなくなります。バックエンド生産の場合、NSR 207 Dは露出スキャナも備えています。これは、露出を正確に制御するために、スキャン速度100mm/sの高速アライメントを備えています。また、ターゲットパターンを識別するためのインタラクティブなアイテム検索機能も備えています。この機能は、露出ドリフトを検出し、露出エラーを修正して一貫した生産歩留まりを保証します。また、ウェーハステッパーは薄膜加工にも対応しており、複雑なパターンを製造するためにウェーハの境界をスムーズに越えることができます。NIKON NSR 207D Wafer Stepperは、デバイス製造からバックエンド生産まで幅広い機能を提供する先進的な生産グレードのウェーハステッパーです。それは高度なリソグラフィー機械、強い軽い露出用具、速い整列システム、敏感な調節および薄膜処理を含んでいます。これらの機能により、高品質のデバイスパターンとウェーハパターンの正確な位置決めと一貫した生産歩留まりを実現します。