中古 NIKON NSR 2005 i9C #9242188 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cは、半導体デバイスの歩留まりを改善し、製造コストを削減するために設計されたフルフィールド、高精度のウェーハステッパーです。このマシンは、NSR-2005i8Cを継承したモデルであり、強化された光学および加工部品を通じてパフォーマンスと効率を向上させます。NIKON NSR2005I9Cは、他の非1：00レンズと比較してフレアとゴースト発生を低減する1：00ガンマ被覆レンズステッパーで動作するように設計されています。このため、ステッパーは超低画質でハイワンピッチパターンを生成することができます。ウェーハアライメント装置（WASL）を改良し、高いスループットと正確なアライメントを可能にし、プロセスの再現性を高め、ロット故障を低減します。WASLシステムは、ウェーハ周辺のアライメントエラーを測定し、フルフィールドに沿ったフォーカスシフトを低減します。同様にi9Cには可変分解能があり、ウェハレベルで4X （1ミクロン解像度）と10X （0。25ミクロン解像度）の解像度を切り替えることができ、正確なパターンサイズを再現することができます。これにより、パターンジオメトリが正しく維持され、ウェーハサイズが拡大します。NSR-2005I9Cは統合されたダイナミックフォーカスユニットを備えており、長距離および高倍率ステップのフォーカスシフトとフォーカスオーバーシュートを補正し、高いプロファイル精度と高ピッチパターン機能を保証します。ダイナミックフォーカスは、フォーカス位置が積極的に監視され、各グローバルステップで調整されるため、熱およびマイクロオーブン効果も低減します。i9Cはまた、従来のドライエッチレジストを使用して線幅パターンを2µmする改良された照明装置と、1Xバイナライズドピクセル分布（BPD）からの強力で柔軟な圧縮を提供します。改善された照明ツールはまた、より良いパターンコントラストを提供する近距離効果の減少を示します。また、ニコンNSR 2005I9Cは機械的および環境的な安定性を有しており、予期しない故障、欠陥、生産量の減少に役立ちます。機械上のプロセス制御および分析ソフトウェアスイートは、i9Cの機能を最適に利用し、オペレータにリアルタイムの情報を提供します。全体として、NIKON NSR-2005I9Cは、高度なイメージングオプティクスと高度なプロセス制御により設計された精密ウェーハステッパーであり、半導体製造における歩留まりとコスト効率を向上させます。