中古 NIKON NSR 2005 i9C #9192702 を販売中
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ニコンNSR 2005 i9Cは、ステッピングモータ技術を搭載したハイエンドの浸漬ウェハステッパーです。スループットへの影響を最小限に抑え、高性能なイメージングおよびリソグラフィープロセス出力を提供するように設計されています。NIKON NSR2005I9Cには、マルチコラムフォトマスク(MCP)、エッジシェーピング(ES)、サブナノメーター回折限界性能(SDLP)など、幅広いリソグラフィーオプションがあります。NSR-2005I9Cは、ユニークなフルオートキャリブレーション機能を備えた最先端のシステムで、すべてのリソグラフィーパラメータを同時に測定できます。この高効率なシステムは、優れたパターニング精度と高いスループットを提供し、さまざまな精密パターニング要件に適しています。NIKON NSR 2005 I 9 Cは、10nmと10nmの低解像度、50nmまでのオーバーレイなど、幅広い解像度のオプションをμしています。このウェーハステッパーはまた、最適な画像品質を確保するために絶対最小ヘイズと高コントラスト比を備えています。高い精度と安定性により、パターンをウェーハに転送する際の信頼性と一貫した結果を保証します。NIKON NSR 2005-I9Cは、最大6インチまでの大型ワーキングエリアを有し、ウェーハの最大厚さは最大200mmです。NSR 2005I9Cは、コリメータ、レーザー、多波長マスクのアラインメントなど、多数のオプションのアップグレード可能なコンポーネントも備えています。これらのコンポーネントは、特定のニーズを満たすために追加の柔軟性を提供するだけでなく、高度なイメージングと完全なリソグラフィプロセスソリューションを提供します。NSR 2005 I 9 Cは、高精度、スループット、柔軟性を必要とするあらゆるリソグラフィ用途に最適です。高い生産性、ユーザーフレンドリーな設計、高度な機能により、ウェハレベルのイメージング要件を満たすための使いやすく信頼性の高い方法を提供します。
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