中古 NIKON NSR 2005 i9C #293605792 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cは、フォトリソグラフィに使用されるウェハステッパーで、集積回路を製造するためにマスクから基板にパターンを転送するプロセスです。この装置には、リソグラフィに必要なすべてのコンポーネントが含まれており、その高精度、汎用性、および速度によって特徴付けられます。i9Cは、高度なステッパー光学、最小限の欠陥と非武装収差、優れたパターンを使用しています。このシステムは、Variable Beam Spot Size （VBSS）機能を使用して設計されており、0。6から5 µmのビームスポットサイズの範囲を可能にし、各パターンに最適な設定を柔軟に使用できます。NIKON NSR2005I9Cは、特許取得済みのスキャン技術とともに、ユニークで汎用性の高いカセットチェンジャーシステム（CCS）を搭載しています。CCSは完全に自動化されており、9ベイカセットホルダーと自動ブレード転送機能を備えた2つのブレードラックで構成されています。このユニットを使用すると、さまざまな部品タイプをすばやく変更および調整できます。i9Cで生成される露出パターンは、歪みが少なく、ギザギザが少ない。NIKON独自の自動歪み補正（ADC）を使用して、すべての露出で歪みを検出および修正し、エラーを低減し、パターン品質を最大限に向上させます。さらに、i9Cは高精度で再現性の高い結果を提供し、ユーザーは自信を持って部品を量産することができます。このツールは、精密なアライメントモニタリングアセットを使用して、移動プロセス全体でステージの位置と傾きを継続的に監視します。これにより、優れた部品位置と安定したショットが保証されます。NSR-2005I9Cウェーハステッパーは、集積回路製造のための高収率、高品質のパターンを製造するための理想的な選択肢となる幅広い機能を誇っています。高度な光学、CCS、 ADCにより、ユーザーは最大の精度と再現性と最小限の歪みでさまざまなパターンを簡単に転送することができます。