中古 NIKON NSR 2005 i8A #9041776 を販売中

NIKON NSR 2005 i8Aは、マイクロエレクトロニクスおよびディスプレイデバイス製造用のフォトリソグラフィ用途に適した高性能ステッパーです。このステッパーは、多層加工、マスクアライメント、イメージングなど、さまざまな用途に使用できます。ニコンNSR 2005I8Aは、フォトリソグラフィープロセスのパフォーマンスと生産性を向上させるためのさまざまな機能を提供します。最高速度は毎時482（482）のウェーハで動作し、解像度は0。33ミクロン、オーバーレイ精度は4％（4％）で高精度です。このステッパーは、2つの高精度アライメント目標を備えた二焦点アライメント装置と独自のイメージデータ精度システムを使用して、精度レートを向上させます。最大開口数0。55の光学ユニットと456（456）ミリメートルのフィールド直径を備えたNSR-2005I8Aは、露光高と加工アーキテクチャの広い範囲を可能にします。この機械はまたマスクの純粋なレーザーの前整列のための0。63の有効な数値の開きの光学catoptric設計を提供します。ステッパーは、迅速かつ効率的なウエハーマウントと検査を可能にするマイクロメーターアームを備えています。サンプルのスムーズで高速なスキャンを可能にするアクティブスキャナー機構を搭載しており、直径6。3インチまでの最大サンプルサイズに対応できます。さらにステッパーには、清潔度マッピングルーチンが内蔵されており、ユーザーはサンプルの汚染を検査することができます。さらに、NSR 2005 i8Aは、シングルステップライティングモードや特許取得済みの自動マスクツーマスクアライメントツールなどの洗練された機能を備えています。NIKON NSR-2005 I8Aは、さまざまな化学薬品やレジストと互換性があり、幅広い選択肢をユーザーに提供します。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供するハイエンドのソフトウェアアセットを搭載しています。さらに、このモデルはレシピ作成のための複数のオプションを提供し、ユーザーはそれぞれのアプリケーションに最適化されたフォトリソグラフィーレシピを作成することができます。全体として、NIKON NSR 2005 I 8 Aは、フォトリソグラフィ用途向けの高効率で信頼性の高いステッパーです。幅広い機能と高い精度と効率を備えているため、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに最適です。