中古 NIKON NSR 2005 i8A #9041676 を販売中

NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepperは、半導体ウェーハに非常に小型で複雑な機能を印刷するために使用される高度で高解像度のリソグラフィ装置です。このシステムは、高い数値開口（NA）プロジェクションレンズと高解像度で動作し、顕微鏡画像をフォトレジストコーティングされたウェハに正確に転送します。鮮明で高精細な画像で1.2µmに小さい機能を印刷することができます。NIKON NSR 2005I8Aには、照明、露光レンズ、ステージ、センサーからなる高度なイメージングユニットが用意されています。照明器は強力な光を生成し、それを制御し、露出レンズによって凝縮されます。高精度のポジショニングと制御された機械的動きを持つ真空チャックにより、ステージ上に保持されているウェーハに画像が投影されます。このステージでは、ウェーハを回転、傾け、シフトして露出精度を高めることもできます。センサーは機械に統合され、ウェーハの露出線量を監視および最適化するために使用されます。その洗練されたアルゴリズムはリアルタイムで動作し、可能な限り最良の結果を確保するために露出条件を調整します。また、リソグラフィ性能に悪影響を及ぼす可能性のある露光問題を検出することもできます。NSR-2005I8Aには、露出パラメータ制御とデジタルイメージ処理を自動化するための一連のソフトウェアオプションもあります。このツールは堅牢で信頼性が高いように設計されており、再現性のあるパフォーマンスで最適化された方法で動作するようになっています。これは、高度なデジタル信号プロセッサ（DSP）資産とパターンデータをキャプチャして保存するために使用される高解像度CCDカメラによって実現されます。最後に、NSR 2005I8Aには、イオンミリング技術を使用して光学機器を清潔に保ち、露光プロセスの精度と安定性を妨げる可能性のある汚染物質がないようにするクリーニングモデルも装備されています。結論として、NIKON NSR 2005 I 8 Aは、高精度なリソグラフィ結果を実現するさまざまな機能を備えた高度で高精度なウェーハステッピングシステムです。その洗練されたイメージングと露出システムにより、ウェーハが正確な条件にさらされ、望ましいパターンが生成されます。高度なソフトウェアとハードウェアを使用することで、露出プロセスを自動化、最適化、監視することができ、最大限の効率で作業できます。NSR-2005 I8Aの全体的な設計により、サブミクロンレベルでも高解像度の高精細な画像を一貫して高性能で作成できます。