中古 NIKON NSR 2005 i8A #293617129 を販売中

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ID: 293617129
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1992
Stepper, 8" Laser Model: < 1mW He-Ne laser (5) Reticles: 6” x 6” Lamp power supply (2) CCU NVC6B-U Black and white cameras Computer Monitor: Black and white HBO Lamp: 2000 W Stage: Stage axis: X, Y, Z Automated Stage Vacuum Short circuit interrupting capacity: 22 KA Compressed air Chemical: Freon-22 Suniso 3GS Refrigeration Oil Non-contact cooling water Motor / load: 12 A Power supply: 208 V, 40 A, 50/60 Hz, 3 Phase 1992 vintage.
NIKON NSR 2005 i8Aは、エレクトロニクス業界における半導体デバイスの生産スケーリングに使用されるウェーハステッパーです。レーザダイオードまたはフォーカスイオンビーム(FIB)からエネルギーを転送して動作し、基板上の望ましいパターンを達成します。NIKON NSR 2005I8Aは、半導体大量生産プロセスのコスト削減と生産性の向上を目的としています。NSR-2005I8Aは、各露光の露光時間を短縮する統合された照明を備えています。この短い露出により、電源の変動や粒子や汚染の影響を低減し、プロセスの安定性を向上させます。さらに、加速/減速時間は7msに短縮され、生産スループットを最大化し、露光時間から潜在的な損傷やリソースを削減するために、最適でない露光時間を最小限に抑えます。さらに、大きな印刷フィールドを備えており、より高い解像度と欠陥の少ないより大きな金型の生産を可能にします。NSR 2005I8Aは、レーザー出力安定性± 0。1%で安定性を高め、改善された一貫性のある結果を得ることができます。一方、ステッチボンドのミスマッチコントロールは、ステッチ方向をモニタリングすることでステッチ歪みを低減し、細かいパターンのステッチでの歪みを最小限に抑えます。さらなる露出制御システムにより、表面粗さと画質管理が可能です。さらにソフトウェア機能を搭載し、露出後の露出や診断時の補正を可能にし、欠陥のない製品品質を確保しています。NSR-2005 I8Aまた、オートフォーカスアライメントと高度なオートフォーカスアルゴリズムを備えています。セル単位の評価技術により、量産レベルでの生産性と歩留まりがさらに向上します。また、3次元アライメント機能を備えており、重要な寸法エラーを修正できます。また、汎用I/Oポートを内蔵することで、操作データ通信やプロセス管理などのプロセスを簡素化できます。NSR 2005 i8Aは全体的に強力なウェーハステッパーであり、半導体デバイスの量産において一貫した高品質な結果を生み出すことができます。その高度な機能と技術により、露出時間を最小限に抑え、安定性を向上させ、高品質の製品とプロセスの生産性を向上させることができます。
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