中古 NIKON NSR 2005 i11C #9309536 を販売中

NIKON NSR 2005 i11Cは、バックエンド半導体加工、ファインピッチダイアタッチメント、薄膜開発など幅広い用途向けに設計されたウェハステッパー装置です。中規模生産から大規模生産までの厳しい要求を満たすように設計されており、精密パターニング、安定したアライメント、正確なオーバーレイのための高度な技術が組み込まれています。NIKON NSR 2005 I 11 Cの高解像度イメージングシステムは、特許取得済みの均質化された逆照明5インチ（127 mm）スリットイメージングレンズと高感度デジタルCCDセンサーを使用しており、高い画像精度とダイナミックレンジを提供します。このユニットには下流の光学系や構造も含まれており、イメージングプレーンを正確に制御できます。NSR 2005 i11Cには、正確なアライメントとオーバーレイのための4レベルの試験構造を備えた2軸アライメント測定および干渉光学を利用した自動ステージ位置決め機が装備されています。また、高解像度のエンコーダを搭載し、正確な動きを正確に回転制御し、連続スキャンパターンとローカルパターンの両方をサポートします。マスクからウェーハへの登録に関しては、NSR 2005 I 11 Cは、クラス最高のアライメントおよびオーバーレイ測定と相まって、グローバルおよびローカルの両方の登録方法を取り入れています。このツールはまた、反りや非均一性などの基板表面の不完全さを認識することができ、クラス最高の補正と補正を提供します。NIKON NSR 2005 i11Cは、多層TMCS （Total Maskless Control Asset）アルゴリズムを利用しており、非常に複雑なマルチレベル構造の正確なパターニングが可能です。このモデルは、高速パターン生成を提供し、従来のステップアンドリピートシステムよりも最大10倍の高速エリアカバレッジレートを備えています。この装置には、再現性の高い結果を保証するための高度なウェーハ監視およびプロセス制御機能も装備されています。RFID対応のデータロギングとトレーサビリティシステムは、生産現場間の安全なデータ転送、およびタブレットPCでのプロセス追跡を可能にします。NIKON NIKON NSR 2005 I 11 Cはパワフルで汎用性の高いウェーハステッピングユニットで、高精度なパターニングと優れたオーバーレイコントロールを提供し、幅広い生産アプリケーションに対応します。NSR 2005 i11Cは、先進的な光学系、多層アルゴリズム、自動ステージ位置決め機、堅牢なプロセスコントロールにより、大量生産のための信頼性の高いプラットフォームです。