中古 NIKON NSR 2005 i10C #9283319 を販売中
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販売された
ID: 9283319
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2010
Stepper, 6"
Main body
Controller rack
AC Unit
NA Variable system
Maximum NA: 0.57
Reticle size, 6"
(20) Reticle microscopes
Wafer chuck, 6"
Wafer chuck type: Ring
(6) Pre-alignment 2: Flat
(6) Pre-alignment 2 hammers
Wafer loader: Type 1
Chip leveling
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA
No in-line
No on-line
No in-line interface
No wafer alignment assist microscope
No wafer edge exposure
No signal tower
No power meter / Test reticles
No reticle cases
No remote controller
2010 vintage.
NIKON NSR 2005 i10Cは、コストを最小限に抑えて最高の性能を提供するように設計された高性能ウェーハステッパーです。この汎用性の高いデバイスは、最も要求の厳しいプロセスに最も正確なウェーハ製造ソリューションを提供することができます。幅広いプロセスで一貫した結果を保証するフルオート操作を提供します。NIKON NSR 2005I10Cは、高い柔軟性と精度を提供する2段階の光学システムを備えています。このシステムは、可変倍率の高解像度ウェーハパターニングレンズによって駆動されます。デバイス上の完全に自動化されたアライナーはノンストップアライメントを可能にし、再現性のある高精度パターニングに適しています。ステッパーには、最大10ミクロンの解像度でパターンを作成できる高解像度レーザーソースも装備しています。さらに、露光時間と線量範囲を自動的に最適化して再現可能な結果を得ることができます。NSR-2005I10Cの高速ステッピングドライブは、ウェーハの迅速かつ正確な処理を可能にし、その大きなスキャンフィールドは、複数のウェーハアセンブリに対応することができます。内蔵のLCDインターフェースは、簡単で直感的な操作を提供し、ユーザーはデバイスの状態を監視し、必要な調整を行うことができます。また、このデバイスには真空チャックが内蔵されているため、処理ステップ中にウェーハを確実に保持できます。NSR 2005I10Cは非常に信頼性が高く、最高品質の結果を確実に提供できます。大気汚染の少ない清潔な環境を提供することができます。また、レンズの開口数が少ないため、歪みや収差を低減し、優れた解像度を実現します。この機能の組み合わせにより、I 10 C NSR-2005幅広いウェーハ処理アプリケーションに適した高性能なウェーハステッパーであることが保証されます。
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