中古 NIKON NSR 1755 i7A #293655188 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Aは、サブミクロンレベルの解像度で半導体ウェーハ上の製造層をパターン化することができる高度なウェーハステッパーです。NIKON iSeriesの最先端ステッパーとして、5nm以下の高度なノードを含む高度なノードウェハの処理に最適です。NIKON NSR 1755I7Aは、サブミクロンレベルのパターニングに必要な画像安定性とパターン精度を実現する低振動、コールドカソード直接マーキング（CCDM）技術を搭載しています。CCDMイメージングと7軸ステージユニットの組み合わせにより、1。0ミクロン未満の比類のない基板と基板のアライメント精度を実現します。オンボードのリアルタイムクローズドループ監視装置により、ウェーハアライメントを継続的に追跡および調整することができ、処理中に非常に高い精度を維持できます。NSR-1755I7Aは25mm x 25mmの視野を持ち、トータルスループットは毎時250以上のウェーハを備えています。高性能エレクトロオプティカルモジュール（EOM）と統合されており、画質とスループットを向上させるための波長システムが強化されています。EOMには、高度な光学ユニットとウルトラバイオレットおよびArFレーザースキャン機能があり、さまざまな高度なノードからウェーハの複雑なパターンを撮影できます。NIKON NSR-1755 I 7 Aは、信頼性の高い堅牢な設計で設計されており、簡単な操作/メンテナンスのための人間工学的レイアウトを備えています。また、クラス1,000のクリーンルーム環境や多波長照明機などの高度な環境機能を備えています。この機能により、ノイズを最小限に抑え、粒子の汚染を最小限に抑えてハイエンド機器を処理できます。NSR 1755 i7Aは、高度なノードウェーハのパターン作成に最適なプラットフォームであり、可能な限り最高レベルの精度と信頼性を確保します。5nm以下のような高度なプロセスで複雑なパターンをパターン化することができるため、現在の半導体製造工程に最適なツールです。