中古 NIKON NSR 1755 i7A #293655181 を販売中
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ID: 293655181
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6"
(2) CVCF NEMA Boxes
Reticle, 5"
Wafer chuck, 6"
0.5 NA
Variable reticle microscope: 15, 17.5
Reticle barcode reader
Reticle case, 5"
Wafer type: Semi wafer
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment2 / Hammer, 6"
Wafer loader
Chip levelling
Carrier table: Left / Right
HP 5517A Laser
Right rack
ASAHI S78 Chamber
Chamber temperature: 23°C
NEST2 PC.
NIKON NSR 1755 i7Aは、幅広いアプリケーションに対応したウェーハプロセス向けに設計された最先端のウェーハステッパーです。このステッパーは、高精度のステップとスキャン、高速動作により、スループットの向上、歩留まりの向上、コストの削減、全体的な生産性の向上を約束します。ステッパーには、新しいスキャンシステムとミラーシステムを使用して、精度と速度を向上させるデュアル軸装置があります。また、業界をリードする可動ステージオプションを備えており、ビート・トゥ・ビートの精度を維持しながら、他のモデルよりも最大20％高速な加速を可能にします。ステッパーはまた、高精度のエッジ配置機能とウェハレベルのアンロード機能を備えており、チップエッジの一貫性を確保します。また、NIKON NSR 1755I7Aでは画像ベースの自動運転対策を採用しており、ウェハの準備時間をわずか7分以内に短縮しています。NSR-1755I7Aは、400nmの光学システムを使用して、5。2対角線測定を行い、フォトリソグラフィのようなプロセスの最高精度と誤差マージンを保証します。フォトリソグラフィーユニットは、レジスト処理制御と光学分解能のレベルの向上を可能にし、より良い線量精度とフィルムの均一性を可能にします。高度な光学設計、一連のプロセス制御ツール、組み込みの高速CD処理を使用して、望ましい機能寸法と精度を実現します。また、レンズシステムにはNIKON Precision Opticsを採用し、最高レベルの画質と数値開度を実現しています。さらに、NSR-1755 I 7 Aは、200 mmから12インチ以上のさまざまなプロセスサイズのために設計されています。ウェーハステッパーは完全に自動化されており、オンサイトの予防メンテナンス機能が付属しているため、中断することなく継続的な操作が可能です。さらに、ステッパーはセンサーベースのマシンを備えており、最適な露出条件を提供します。NSR 1755 i7Aは、高精度なステップとスキャン、高速動作を提供する高度なウェーハステッパーです。このステッパーは、さまざまなウェーハプロセスアプリケーションでスループット、歩留まりの向上、コストの削減、生産性の向上に役立ちます。
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