中古 NIKON NSR 1755 G7E #293591982 を販売中

NIKON NSR 1755 G7Eは、高解像度のイメージングと正確なアライメントを提供するための高度な技術を取り入れた最先端のウェーハステッパーです。応用半導体ウェハ裏面の超高解像度イメージングを可能にする内部放射線源と7インチ画像倍率モジュール（FESEM）を搭載しています。この装置は、非常に低いサーマルドリフトでフォトリソグラフィ画像の最高のコントラストを達成することを可能にします。NSR 1755 G7Eは、最小の機能でも高度なリソグラフィ要件を完全に満たすのに適しています。ステッパーの内部放射源は、最小分解能の特徴に最適なエネルギー量を持つ高速電子ビーム発生器です。この電子源は、熱ドリフトによるミスアライメントと画像の変形を補償することもできます。これにより、リソグラフィ画像の優れたコントラストと明るさが保証され、残留ウエハートポグラフィも大幅に低減されます。この放射線源は衝撃にも耐性があり、あらゆる生産環境で機能することができます。NIKON NSR 1755 G7Eの7 インチFESEMイメージングモジュールは384nmの解像度を持ち、4倍（標準顕微鏡の4倍）の解像度で1300X（純正画像領域）まで拡大できます。この高解像度イメージングモジュールは、フォトリソグラフィーマスクとウェーハの超精密なアライメントを可能にします。NSR 1755 G7Eは8ウェイスキャンステージを備えており、ウェーハ表面全体の全速度アライメントとフォーカスを可能にするように設計されています。さらに、このステッパーは、内蔵のイメージオーバーレイ機能と、クォーツマスクパターンを保存およびリコールするためのフラッシュメモリを採用しています。このシステムには、ユーザーがその機能を制御し、スキャン処理中にパラメータを監視することができる制御コンソールも装備されています。NIKONサービス診断ソフトウェアとの互換性により、ステッピングパフォーマンスデータをモニター上で直接表示し、ネットワークにダウンロードすることができます。このソフトウェアは、データを分析し、リアルタイムのフィードバックをユーザーに提供することもできます。NIKON NSR 1755 G7Eは、あらゆる種類のフォトリソグラフィ用途で優れた結果を提供する信頼性と効率の高いウェーハステッパーです。ハイテク機能と高度なイメージング機能を組み合わせることで、半導体製造に最適です。