中古 NIKON NSR 1505 i7A #9409898 を販売中

ID: 9409898
ヴィンテージ: 2010
Stepper Lens data Field size: 15 x 15 mm Lamp uniformity: < 2% Flash power: 300 Mw Exposure stability: ≤ 1.4% Water flatness: ≤ 25µm LSA Focus: < 1.5 µm Tele focus: < 0.02 µm Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm Stepping: Sigma < 0.03 µm Orthagonality: < 0.2 sec Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm Overlay: 3 σ with average ≤ 0.13 µm Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm Lens tilt: UR - LL ≤ 0.45 µm UL - LR ≤ 0.45 µm 2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7Aウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス製造用に設計された高精度でコンパクトなリソグラフィ装置です。これは、信頼性の高いステッパー/スキャンヘッドを備えた7ナノメートル分解能のステップ/スキャン技術を利用しており、420mm x 500mmの大きな作業場サイズを備えています。この機械は、解像度を下げることなく、大規模な作業フィールドにまたがる能力を備えているため、現代のナノテクノロジーアプリケーションにおいてユニークな利点があります。NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepperの光学アーキテクチャは、シンプルで効果的なデザインに基づいています。システムは、超高解像度の光学レンズと低NA投影光学系で構成されています。この組み合わせにより、420mm x 500mmの画像フィールドと7nmの最高解像度が得られ、オブジェクトの変位を正確に制御して一定のステップサイズを実現します。ウェーハステッパーのスタティックアプリケーションとスキャンヘッドアプリケーションの両方のバリエーションがサポートされており、生産の柔軟性を可能にします。NSR 1505 I7A Wafer Stepperは、パフォーマンスと精度の実績があります。6軸モーションコントロールと簡素な位置決めによる高度なモーションコントロール技術により、より高い精度と精度のプロセスを保証します。このマシンには、人間工学に基づいたユーザーフレンドリーなソフトウェアが搭載されているため、操作が簡単です。NSR 1505 i7A Wafer Stepperは、自己学習アルゴリズムを含むさまざまな高度な機能を使用して、フォトリソグラフィック露光の効率を最大限に高めます。このユニットは、より高い解像度のイメージングと生徒の分極性の向上を実現することができ、ユーザーはさらに鮮明な画像とサブサーフェスイメージングを得ることができます。このマシンは、自動化されたアライメントも備えており、生産ラインへの迅速な統合を可能にします。NSR 1505 I 7 Aウェーハステッパーは信頼性が高く効率的な機械であり、幅広い基板で高精度のリソグラフィを実現します。そのコンパクトなサイズは、セットアップ時間を最小限に抑えて、既存の生産ラインへの簡単なインストールを可能にします。このマシンの利点は、直感的で使いやすいソフトウェアと相まって、高度な半導体デバイス製造に最適です。
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