中古 NIKON NSR 1505 i6 #9068876 を販売中

NIKON NSR 1505 i6は、高精度ウェーハリソグラフィ用に設計された4インチウェーハステッパーです。この先進的な装置は、ニコンの先進的な光学系、世界トップクラスのプロセス、非常に安定した動きを組み合わせ、最高の精度と生産効率を提供します。このシステムは、半導体、MEMS、または他の先端技術のフォトマスクを処理するように設計されています。NIKONの特許取得済みの「i」ラインスキャン技術を活用し、パターン認識エラーが少なく、マスク欠陥が少ない画質を実現しています。NSR 1505 i6リソグラフィーユニットは、ステッピングレベルの精度を利用しています。このマシンには、高精度の6軸モーションコントローラが組み込まれています。このモーションコントローラは、2段階のサーボ制御スキャン機構を備えており、常にフォトマスクの滑らかで正確な動きを提供します。このツールはまた、リソグラフィ中に正確なウェーハ配置を保証する高精度のウェーハステージを備えています。ウェーハステージは、ウェーハエッジで高い均一性を可能にする滑り止め面を備えています。また、NIKONの特許取得済みの「フローティングステージ」モデルを搭載し、光学キャリッジとは独立してステージを移動することができます。これにより、マスクの装填中に機器が一定の焦点を正確に維持することができます。NIKON NSR 1505 i6には強力なソフトウェアオプションもあります。これらには、オートフォーカスとオートフォーカスの最適化、プログラム管理、オートフォーカスのウィンドウ選択が含まれます。また、最高速度と信頼性のためのジョブ制御設定の広い範囲を提供しています。NSR 1505 i6ウェハステッパーは、複雑なフォトマスクを最高の精度と生産効率で処理するのに適した強力で信頼性の高い機械です。高度なモーションコントロール、優れた画質、高精度ウエハステージ、ソフトウェア機能を備えています。半導体業界の幅広い用途に適した高度なユニットです。