中古 NIKON NSR 1505 G6E #9120694 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、高度な半導体回路の製造を容易にするために設計されたマルチフィールド、ハイエンドウェーハステッパーです。高精度で再現性の高い精度により、幅広いデバイスに優れた性能を発揮します。NIKON NSR-1505G6Eは、4xおよび5xスキャン露光モードを使用して、あらゆるデバイスやアプリケーションに適しています。2つの非球面レンズ、テレセントリックレンズ、ウルトラテレセントリックレンズなど、さまざまなプロジェクションレンズは、幅広い焦点距離にわたって非常に正確な結果を提供します。レンズスキャンモードも備えており、1ステップで複数の露出を行うことでスキャン露出の効率を向上させます。NSR 1505 G6Eは、正確な真空制御を使用して、クリーンルーム環境で動作するように設計されています。制御装置には、ステッパー内の空中粒子濃度を監視する超低粒子検出ユニットが含まれています。これは、安定したクリーンな動作環境を確保するための継続的な制御を提供します。NSR-1505G6Eには複数のユーザーオプション機能があり、エンドユーザーはデバイスを特定の要件に合わせてカスタマイズできます。これらのオプションの1つは、高解像度のビネット機能と最適化機能を組み合わせた効率的な露出戦略です。これにより、ミスアライメントまたは収差による光学効果の数を減らし、高い精度を提供します。NIKON NSR 1505 G6Eは、線の距離や斜めの線など、さまざまなハーフピッチジオメトリパターンを受け入れて、幅広い用途に対応できます。その他の機能としては、自動アライメントおよびセンタリングルーチン、およびウェーハプロセスの結果を検証するための迅速なテストを提供するインラインテスト機能があります。NIKON NSR-1505G6Eには、システムの精度と生産性を向上させるさまざまなオプションオートメーションパッケージが含まれています。これらには、ステッパーがより迅速かつ正確に移動することを可能にする強力なマルチトラックステージと、着信ウエハと格納されたリファレンスイメージを測定および比較するビジョンアライメントユニットが含まれます。ステッパーは、ワークフローの合理化、ダウンタイムの削減、運用効率の最適化のために、既存の生産設備と統合することもできます。NSR 1505 G6Eは全体的に強力で正確なステッパーであり、ウェーハ処理に優れた結果をもたらします。その多分野の光学および真空制御機械はそれを上限のウエハの製作のためのよい選択にします。さまざまなオートメーションパッケージやその他のユーザーオプションは、多くの場合、先進的な半導体製造に適しています。