中古 HITACHI LD-5011iA #9130224 を販売中

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HITACHI LD-5011iA
販売された
ID: 9130224
ウェーハサイズ: 6"-8"
Steppers, 6"-8".
HITACHI LD-5011iAは、高画質と高度なプロセス均一性を実現するフル機能のウェーハステッパーです。LD-5011iAは、リソグラフィープロセスを最適化し、一貫した結果を生み出すように設計された多数の主要機能を備えています。HITACHI LD-5011iAは、1。2の数値レンズ絞りを備えた低減対物レンズ(ROL)を搭載し、ウエハの拡大と高精細な画像を提供します。また、顕微鏡は独自のフォーカシングメカニズムとロープロファイルトラップレンズのバランス設定を備えており、露光プロセス中に倍率がシフトしないようにしています。ウエハステッパーは、UV波長と可視波長の両方を含む複数のタイプの照明を処理する機能を備えており、さまざまな種類のリソグラフィープロセスに適しています。ステッパーはまた独特な二方向サーボシャッターのメカニズムを特色にし、石版工程の各ステップのための安定した露出時間を提供します。ウェーハステッパーは、レーザー干渉計を備えた高精度のオートフォーカス装置を備えており、幅広いウェーハの高さに対応できます。LD-5011iAは1.67µmの最大解像度を持ち、幅広い処理ニーズに対応できます。また、オプションのSoftware Optionを使用することで、オートフォーカス設定によるカスタマイズされたフォーカス測定ユニットを作成でき、さまざまな動作条件で正確にフォーカスを調整できます。マシンソフトウェアはまた、ユーザーがプロセスをカスタマイズすることができ、包括的な機能制御機能を提供しています。また、HITACHI LD-5011iAはユーザーフレンドリーなステッパーとして設計されており、直感的な対話駆動のユーザーインターフェイスを提供し、設定と操作を容易にします。また、ウェーハステッパーは信頼性の高い搬送機構を備えており、迅速なインデックス作成と安全なサンプルハンドリングにより、より高い生産歩留まりを実現しています。LD-5011iAは完全に自動化された信頼性の高いウェーハステッパーで、幅広いリソグラフィープロセスに使用できます。Lithographicプロセスを最適化し、信頼性の高い一貫した結果を得るための幅広い機能を提供します。直感的なユーザーインターフェースと信頼性の高いフォーカシングにより、HITACHI LD-5011iAは大量生産環境に最適です。
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