中古 GCA 6300B #9186800 を販売中

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GCA 6300B
販売された
製造業者
GCA
モデル
6300B
ID: 9186800
DSW Wafer stepper.
GCA 6300Bは、IC製造時に集積回路(IC)ウェハを処理するために使用される半導体リソグラフィ装置GCAによって設計されたウェハステッパーです。1つまたは2つのビームソースを使用して、ウエハサーフェス上のパターンをイメージできます。直径200mmまでのウェーハに対応可能で、最大16個のウェーハを一度に加工できます。6300Bには、同じ場所に焦点を合わせることができる2つの193nm波長ビームを生成するゲルマニウム(Ge)エキシマレーザーが装備されています。様々なリソグラフィ用途において精度の高い0。50ミクロンの分解能を実現しています。レーザーは、パルスモジュレーションモード、シングルビームアプリケーション、デュアルビームアプリケーションのダブルパルスモードのいずれかで構成することもできます。ステッパーは頑丈な応力バランスの長軸/短軸ガントリーサブシステムで設計されており、可変条件下でのウェハの正確なアライメントを可能にします。ステッパーは、長軸運動を制御するための高精度のエアベアリングを使用し、振動や温度変動時に安定した状態を維持することができます。また、高度なイメージング焦点深度制御システムを搭載しており、レーザービームがウェーハの表面と完全に平行に保たれます。GCA 6300Bは、1mm x 1mmから480mm x 480mmまでの幅広い露光フィールドサイズを提供し、大面積ウェーハやマイクロスケールパターンを処理できます。また「、可変傾斜露光」と呼ばれるユニークな機能を備えており、レーザーは非常に複雑な設計を処理するためにウェーハ上の異なる場所で露光長や「燃焼時間」を変化させることができます。6300Bは信頼性が高く高精度なウェーハステッパーであり、ウェーハの大小の領域を処理するための最先端の機能を提供します。その高度なリソグラフィ機能は、安定した耐久性のある設計と組み合わされ、複雑なウェーハ処理プロジェクトに最適です。
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