中古 ELECTROMASK / TRE 5X #9041055 を販売中

ELECTROMASK/TRE 5X （エレクトロマスク/TRE 5X）は、日本のニコンがフォトリソグラフィ用に設計した最先端のウェハステッパーです。本装置には、メインレンズ、レチクルステージ、最小1。4ミクロンのパターンを200mmウェーハに転送できる投影光学を搭載しています。フォトリソグラフィの最初のステップは、TRE 5X光学倍率顕微鏡で行われるレチクル段のアライメントです。レチクルが配置されると、メインレンズは処理中のウェーハに集中することができます。システムで使用されるメインレンズは、4つのレンズで構成され、そのうち2つは0。46の高い数値開口と2つのアクロマットで、より大きな開口部での切断を修正します。単位の分解能の限界は照明の5％の均等性のウェーハの0。25ミクロンです。レチクルからデータを読み取る機械の投影光学は、4倍の4倍の光学倍率顕微鏡で、開口数は0。25、パターン伝達スポットサイズは0。5ミクロンです。投影光学のアライメントは、自動的に倍率誤差を補正するテレセントリックアライメントを使用して行われます。レチクルからの信号はセンサーによってピックアップされ、テレセントリックアライメントの調整と監視に使用されます。このツールのウェハステージは、CCDカメラと精密ビームスプリッタを使用した位置検出アセットにより、サブミクロンの精度を達成することができます。このモデルと焦点面を組み合わせることで、ウェーハの位置を正確に測定し、高精度なステージ動作を実現します。ELECTROMASK 5Xには、機器の安全性と精度を確保するための保護モジュールとフィードバック制御システムも装備されています。このシステムには、効率的で完全なウェーハ処理を可能にする自動ローディングユニットも含まれています。また、複数のウエハータイプを一度に処理することも可能です。全体として、5Xは高度で洗練されたウェーハステッパーであり、フォトリソグラフィープロセスにおいて高い精度と精度を提供します。このツールは、集積回路製造、医療工学、データストレージなどの分野での使用に最適です。