中古 CANON FPA 5000 ES3 #100787 を販売中

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ID: 100787
Stepper, 8" KrF Scanner No laser SMIF (Reticle) Interfaced with TEL Act 8 Reticle size: 6" Mainframe: Operation Controller Main body Back chamber RASCO BCU-900 Temperature control unit Power: 200 V, 3 ø, 40 A CYMER ELS6300 Laser unit Power: 208 V, 50/60 Hz, 60 A ULPA filter I/F Module Tool box 2001 vintage.
CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepperは、集積回路で使用されるウェーハや部品の量産用に設計された画期的な半導体リソグラフィ装置です。ステッパーは高い精度を誇り、ウェーハ表面に精密かつ高解像度のイメージングが可能です。ステッパーには、露出過多および露出不足の保護の高いレベルを提供し、直感的な制御レベルを維持する最先端の露出制御装置(ECS)が装備されています。このシステムにより、操作が簡素化され、ユーザーのトレーニング時間が短縮され、ウェーハ結合集積回路の市場投入までの時間が短縮されます。ステッパーには、高性能イルミネーションユニットも装備しています。その改良された光学技術は2種類のレンズ、前部および後部を特色にします、ターゲット表面へのよりよい光強度の配分を可能にします。これにより、より少ない欠陥を作成し、より高い形状精度を実現します。CANON FPA 5000ES3は、出力6,000Wのレーザーで駆動し、1時間あたり最大2,300チップを撮影できます。ステッパーはまた正確にダイの位置を読む高精度の自動認識機械を特色にし、最適露出を維持するために自動的に光学用具を調節する必要がある情報を正確に機械に与えます。さらに、ステッパーは堅牢で耐久性のあるフレームワークを備え、8インチ、12インチ、300mmサイズのウェーハなど、幅広い素材に優れたサーボ制御を提供します。FPA-5000 ES3 Wafer Stepperは、競合他社をはるかに上回る優れた画像精度と高解像度イメージング機能を提供し、より高い歩留まりと生産効率を実現します。アセットは操作が簡単で、複数の操作と重い使用にもかかわらず、安全で信頼性の高い操作と精度を提供します。FPA 5000ES3ウェーハステッパーは、優れた精度と解像度を備えた最新かつ最も効率的なウェーハ処理モデルをお探しの企業に最適なソリューションです。
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