中古 CANON FPA 3000 EX4 #293586146 を販売中

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ID: 293586146
ヴィンテージ: 1998
Stepper CYMER ELS 5300 Laser system CGWS-01 O-Zone generator No lens data 1998 vintage.
CANON FPA 3000 EX4は、半導体チップの製造用に設計された高精度ウエハステッパーです。直径300mmまでのウェーハに対応可能で、高精度でアライメント精度の高い8チャンネル2段の光学機器を搭載しています。このステッパーは、単一の露出ショットと複数の露出ショットの両方を処理することもでき、処理されたウェハの露出パラメータをカスタマイズすることもできます。CANON FPA-3000EX4は、新開発のベクトル制御ショットシフティングシステムとファインイメージフォーミングレンズで設計されています。これにより、ウェーハ全体で一定の焦点レベルと一貫した画質が保証されます。一体型の振動絶縁ユニットにより、露出時の振動を排除し、サーマルドリフトによる温度不安定性の減衰時間を最小限に抑えます。また、高速I/Oコントローラを搭載しており、露光処理中に大量のデータを高速に処理できます。高画質化のため、FPA-3000 EX4には新開発のEX4イメージングコントロールマシンが搭載されています。これにより、高精度で信頼性の高い画像表示が可能になり、自動アライメントプロセス全体を簡素化できます。また、新たに設計された高精度オートフォーカスツール(HPAS)は、ウェハの厚さが変化するたびに最適なフォーカスレベルを見つけるように設計されています。FPA-3000EX4は、最適なエネルギー利用のための高効率照明アセットを提供しています。6つのレーザー反射器を使用することで、フォトリソグラフィープロセスで最大7,000 mW㎡のエネルギー強度を得ることができます。内蔵のMicro Scissors Tilt (MST)補償器は、ショットの傾きを迅速かつ正確に検出することにより、露出中のクロススロープエラーを防止します。ユーザーの利便性のために、FPA 3000 EX4にはユーザーフレンドリーなモニターが装備されており、オペレータは露出パラメータを制御しながらウェーハアライメントを表示できます。また、プレビューモード機能を搭載しており、露出前のショットを見て加工ウェハのアライメントを確認することができます。これにより、製造プロセス中の露出の迅速かつ正確な位置決めが可能になります。キヤノンFPA-3000 EX4は、ウェーハの安定した加工を実現するため、微粒子の汚染を低減し、クリーンな環境を最適化してクリーンなウェーハ表面を維持する空気清浄度制御機能を提供しています。また、ウェーハによるX線損傷を低減できるヘリウム交換モデルを搭載しています。CANON FPA 3000 EX4は、信頼性の高い性能、高速性、および精密アライメントにより、精密ウェハステッパーのニーズに最適です。その包括的な機能により、半導体チップの製造に最適です。
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