中古 CANON FPA 3000 EX3 #9092577 を販売中

CANON FPA 3000 EX3は、先進的な半導体マイクロチップ製造プロセスで使用するために設計された最先端のウェーハステッパーです。ハイエンド半導体マイクロチップ製造におけるリソグラフィ用途向けに特別に設計されています。FPA 3000 EX3は、最大解像度5nmを備え、非常に高精度であり、チップ製造プロセスにおいて可能な限り最高レベルの精度と再現性を実現します。極めて低い欠陥率で毎分20チップまでのスループット速度が可能です。また、CANON FPA 3000 EX3では、高度な画像補正装置を採用し、焦点の深さの不正確さを30％低減し、画像精度を2倍にしています。FPA 3000 EX3には、生産性を最大化し、コストを最小限に抑えるための幅広い機能が含まれています。独自のオートチューニングマグ（ATM）システムにより、リソグラフィプロセスパラメータを瞬時に最適化できます。また、内蔵の自動欠陥検出（ADD）ユニットは、イメージングプロセス開始前に画像の自動リアルタイム検査を行います。これにより、機械の全体的な精度と感度が向上し、画像の手動レタッチと編集の必要性が低減されます。また、CANON FPA 3000 EX3には、最高の性能と効率を可能にするさまざまな高性能コンポーネントが装備されています。5メガピクセルのCCDカメラ、光学的に正しい280mm F/2.8レンズ、および安定した動作と超精密なアライメントのための高度な5軸アライメントマシンで構築されています。ハイエンドの電源および冷却システムにより、最適な温度制御が可能であり、堅牢な振動減衰構造により、あらゆる環境で動作できます。他のマシンとのデータ伝送を容易にするために、FPA 3000 EX3には、ギガビットイーサネットLANインターフェイスとオプションのデュアル冗長2.5Gbサービスポートも含まれています。CANON FPA 3000は、プロセス制御機能の強化とCANON独自のE-DAQソフトウェアの完全サポートに加えて、リソグラフィ用途向けの包括的なソリューションEX3提供します。FPA 3000 EX3は、比類のないレベルの精度、再現性、生産性を提供する高度なウェーハステッパーです。最先端の部品、高度な画像補正、自動欠陥検出システムにより、ハイエンドの半導体マイクロチップ製造プロセスに最適です。