中古 CANON FPA 2000 i1 #100914 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、高精度、光学、ハイエンドウェーハステッパーです。複雑な半導体構造や集積回路（IC）の製造に使用されます。ナノメートルの精度で極めて精密なパターンや構造を提供できる業界標準の機器です。このシステムには、i-lineプロジェクションと405nm μ -ROC（反射モード非軸）照明ソースが装備されています。この組み合わせは、光を効率的に送信および反射する波長の能力により、優れた精度と小さなスポットサイズを提供します。このプラットフォームには、高感度の3カメラによる自動アライメントと制御ユニットも装備されています。この機能は、さまざまなデバイスの形状や構成を正確に整列および制御するために使用され、正確なパターン作成とマスキングを可能にします。ステッパーの高精度ステージマシンは、正確なパターニングのための装置を正確に調整して配置することができます。これは、精密な全方向モーションコントローラの助けを借りて達成されます。NPF （Numerical Proximity Focus： Numerical Proximity Focus）機能を使用すると、デバイスを素早く整列させてフォーカスすることができ、精度とスループットがさらに向上します。キヤノンFPA2000-I1は、洗練された露出と抵抗制御方式も採用しています。このスキームは、パルス幅変調（PWM）、裏面露出、長時間露出などのさまざまな露出技術を組み合わせて、正確なパターニング結果を保証します。このツールはまた、完全なデジタルプロトタイピング環境をサポートし、迅速な設計シミュレーションと最適化を可能にします。このアセットは、高精度なパターンを必要とするアプリケーションに理想的で、高い公差と優れた表面精度を備えています。FPA-2000I1は高分解能のチェッカーボード光学モデルを提供し、オペレータは正確さおよび欠陥のための装置パターンを点検することを可能にします。また、ショート、ブリッジ、ミスアライメントなどの重要な欠陥を自動的に検出できる4点画像測定装置も備えています。さらに、診断ツールやパフォーマンス最適化ツールなど、さまざまなパフォーマンス監視ツールを提供しています。CANON FPA 2000 I 1ウェハステッパーは、ナノメートルの精度と信頼性で正確なパターンを提供することができる強力で高精度な生産プラットフォームです。高精度のモーションコントローラ、光学制御とレジスト制御、パフォーマンス監視ツールを組み合わせることで、タスククリティカルなアプリケーションに最適なプラットフォームとなります。