中古 ASML XT 1700FI #293587592 を販売中
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販売された
ID: 293587592
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
ArF Scanner, 12"
Process: 65 nm
CIM: SECs
Arf dry scanner: 193 nm
Handler interface
Hardware configuration:
LCWC / MCWC
ACC
(2) Cymer lasers
Filter cabinet
MDC
2008 vintage.
ASML XT 1700FI Wafer Stepperは、ウェーハ製造およびチップ製造設備が常に小型で複雑なマイクロチップを製造できるようにするために開発された高度なリソグラフィックマシンです。画期的なフルフィールドイメージングシステムを備えたASML XT1700FIは、最先端のウェーハステッピングアーキテクチャを備えており、正確で再現性の高い結果で比類のないイメージング精度を実現します。自動化された高精度モータ駆動スキャンステージにより、このマシンは1ステップで全領域を正確にスキャンすることができ、生産サイクルの短縮と製品リードタイムの短縮を実現します。XT:1700FIは、短いレーザー誘導蛍光(LIFE)と反射深紫外線(DUV)システム、さまざまな接触印刷モードの両方を含む、幅広いチップ設計およびリソグラフィーシステムをサポートする複数の照明オプションを提供しています。このウェーハステッパーは、ミクロンからナノメートルまで、さまざまなチップ設計の機能サイズにも対応しています。これらのオプションはすべて、包括的な光学ステージと組み合わせることで、ユーザーは非常に信頼性の高い結果を得て、高精度で反復可能なリソグラフィープロセスを実行することができます。さらに、XT 1700FIは高速で8。4秒のスキャン速度で高いスループットを誇ります。さらに、強力な照明システムは、シャドーイングなしで優れた照明制御と均一な照明を提供し、ユーザーは可能な限り最高のスループット出力を達成することができます。これにより、設備は最大のウェーハ収率を達成しながら、サイクルタイムとコスト削減を最大化することができます。さらに、ウェーハステッパーには、直感的で人間工学に基づいた操作制御コンソール、7インチのタッチスクリーンLCD、および包括的な測定システムが搭載されているため、操作と監視プロセスがより簡単かつ効率的になります。XT 1700 FIウェーハステッパーは、生産性と効率性を総合するため、チップ製造およびウェーハ生産設備に最適な選択肢です。ASML XT 1700 FIは、優れた精度と驚異的な高速速度により、適切な照明ソース、正確なイメージング機能、および最高レベルのチップ生産プロセスを実現するための高スループット歩留まりを提供します。
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