中古 DNS / DAINIPPON SSW-60A #9006817 を販売中

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DNS / DAINIPPON SSW-60A
販売された
ID: 9006817
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Wafer Scrubber, 6" (2)F / (1)B 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60Aは、半導体・フラットパネルディスプレイ業界向けに設計されたウェーハ・マスクスクラバーです。シリコンウェーハまたはフォトマスク表面を洗浄するための自動化された高性能機器です。DNS SSW-60Aは、回転ブラシを使用してウェーハやマスクの表面を徹底的に洗浄する垂直型スクラバーです。DI水と特許取得済みの洗剤を使用して、ウェーハやフォトマスクの表面から汚れ、残留物、有機材料を効果的に除去します。搬送ローラーコンベアを使用して、ウェーハとマスクをスクラビングステージ間で移動させます。DAINIPPON SS-W60Aは、3〜8インチウェーハ、5〜8インチマスクの幅広いサイズのウェーハとマスクサイズに対応しています。スクラビングプロセスは高度に設定可能で、異なるサイクルタイムとパス数を可能にします。スクラビングステーションは、各ウェーハとマスクとの最適な接触のためのブラシの正確なアライメントを確保するために調整することができます。また、最先端の紫外線(UV)光を利用して残留粒子を除去する最先端の洗浄システムをSSW-60Aしています。紫外線は可視光よりも波長が短く、基板にさらに浸透して基板の大きな粒子を取り除くことができます。このユニットはまた、スクラビングサイクルごとに除去された粒子の数を追跡する効率監視機能を提供します。DNS/DAINIPPON SS-W60Aには、スクラビングパラメータを簡単に設定できるタッチパネルが装備されています。パスワードで保護されたアクセス、レシピ設定、工場プリセットのスクラビングサイクルなどの高度な機能も利用できます。スクラビングサイクルは、より効率的なクリーニングプロセスのためにさらにカスタマイズすることもできます。さらに、クリーニング、ウェーハトラッキング、データロギングのための高度な機能を備えています。DNS SS-W60Aは、産業環境における安全性と信頼性を考慮して設計されています。それは安全なランプ、緊急停止ボタン、および警報システムのような高度の保護装置を特色にします。また、移動中のスクラバーブラシアームによる怪我から人員を保護するための安全機能も備えています。全体として、SS-W60Aはラインウェーハおよびマスクスクラバーのトップであり、精密な半導体およびフラットパネルディスプレイのクリーニング要件に最先端かつ信頼性の高いクリーニングプロセスを提供します。カスタマイズ可能なスクラビングサイクル、効率的なクリーニングプロセス、最高の信頼性のための高度な安全機能などの機能を提供します。
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