中古 RORZE FORS-300 #9215992 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9215992
ウェーハサイズ: 8"-12"
Wafer sorter, 8"-12"
(2) RAF-01013 Loadport EFEM
Options:
Single-arm, clean robot RR716L1523-3A6-001
RA410 Wafer aligner and orienter
Alumina ceramic end effector, paddle-shaped: 2.3 mm Thick
ADVANTECH PC With UNI-WIRE DI/O interface
(2) Serial ports
Ethernet interface and RS-232 communication to EFEM PC
PATLITE SEFB-402D-RAGB Signal tower
Ionizer
Interior service lighting: 25 ft Candles per square foot (Minimum)
Wafer presence detector: SUNX EX-13EA, Throughbeam, LED sensor
(2) RORZE SEMI Loadports
Throughput: > 150 Wafers per hours & Loadport cycle time with single-arm robot
Reliability: MCBF >100,000 Cycles
MTTR: 2 Hours (With spare parts)
Mini-environment cleanliness: ISO Class 1 at 0.1 microns per ISO-14644-1
Wafer placement repeatability:
+/-0.100mm in X & Y Direction, 3 sigma, +/-0.25° notch orientation, 3 sigma
Safety devices and interlocks:
EMO Switch
Cover interlocks
Utilities:
Operating and storage ambient temperature: 20°C to 30°C (Non-condensing)
Vacuum: -67 kPa to –93 kPa at 30 lpm
System vacuum: –65kPa
Connecter: ¼" Tube
Pressurized air: 600kPa to 700kPa at 20 lpm
Interface connections:
LPU-1 COM: RS-232 Communication with left loadport
LPU-2 COM: RS-232 Communication with right loadport
HOST COM: RS-232 Communication with host
EFEM PC IO
LT TOWER: Full control of light tower
Ethernet: Robot controller and EFEM PC
VS 1: View screen VGA signal for control by host PC
VS 2
EMO Out
Keyboard
Mouse
PC VS
Vacuum
Sensor: Full control of protrusion sensor
RS-232 Control of touch screen monitor
PC Keyboard: PS/2 Keyboard connector to EFEM PC
Compressor air
Electrical power: 120V AC, ±10% at 23A (Maximum), 50/60Hz
Power connector: Amphenol 97-3102A-20-3P.
RORZE FORS-300は、直径300mmまでの大小のウエハに対応する高精度ウエハハンドラです。半導体およびマイクロエレクトロニクス製造業界にとって不可欠なツールであり、オペレータは精度と再現性を最大限に高めることができます。FORS-300は歩留まりを高め、可変的で、速い輸送ドライブ装置によって最高の性能を提供するように設計されています。トランスポートシステムは、デュアルドライブユニットと精密リニアベアリングを備えており、スムーズで正確な動きを提供してエラーを低減し、スループットを向上させます。最大+/-0。03mmの再現性でハンドル部品配置が正確であることを保証する統合された光学マシンを備えています。制御ツールは、リアルタイムの監視とフィードバックを提供し、問題が発生した場合にオペレータに警告するアラーム機能を提供します。RORZE FORS-300は、コンパクトで軽量なため、柔軟性と使いやすさに優れています。そのアップグレード性とスケーラビリティ機能により、生産能力の向上に最適です。アセットはユーザーフレンドリーで、直感的なユーザーインターフェイスと高速モーションコントロールを備えています。また、プログラム可能な機能と最適化された操作のためのカスタマイズ可能な設定も備えています。ビジョンモデル、ロボットアーム、レーザー機器など、さまざまな周辺機器オプションが付属しているため、より大きな自動ラインに統合することができます。FORS-300には、安定した電圧と周波数制御を提供し、消費電力とノイズレベルを低減する信頼性の高い効率的な電力システムが含まれています。また、オプションの力とトルク監視システムが付属しており、処理中にコンポーネントに適用される物理的な力を正確に測定できます。最後に、RORZE FORS-300は、ユーザーに最適なパフォーマンスを保証するための保証およびテクニカルサポートチームによってサポートされています。このサポートは、インストール、操作、トラブルシューティング、メンテナンス、およびその他の要件に使用できます。
まだレビューはありません