中古 GENMARK GB4P #9410433 を販売中

GENMARK GB4P
製造業者
GENMARK
モデル
GB4P
ID: 9410433
Robot.
GENMARK GB4Pは、株式会社GENMARK Automationが開発したウェハハンドラです。このウェハハンドラは「、Proven」生産ウェハハンドラソリューションとして知られています。200mm、 300mmのウエハサイズに対応可能です。シリコン、ヒ素ガリウム、リン化インジウムなど、幅広いウエハータイプで動作します。GB4Pは、生産量を増やし、生産コストを削減するように設計されています。競合製品から際立っているいくつかの機能があります。これらの機能には、低メンテナンス、正確なアライメント、および制御された真空が含まれます。GENMARK GB4Pは、正確かつ再現可能な操作のための高度なオートメーションコントロールを備えています。GB4Pはデュアルチャンバー設計です。上部チャンバはウェーハローディングとアンロードに使用され、下部チャンバはウェーハバッファリングに使用されます。ウェーハの積み下ろし機能は、チャック上のウェーハの動きを最小限に抑えるために精密に制御されています。ボトムチャンバーにはメカニカルフィーダがあり、複数のウェーハを同時にロードおよびアンロードすることができます。ウェハハンドリングのすべての段階を正確かつ再現可能に処理するモーションコントロールシステムが内蔵されています。最上部のチャンバーには、処理段階ごとにウェーハを正確にアライメントするためのビジョンシステムが内蔵されています。GENMARK GB4Pの主な特徴は、ウェーハの真空処理です。バキュームシールが内蔵されており、ウェーハを握り、チャックにしっかりと固定します。これは、プロセス中にウェーハが外れたり、予期せずに移動したりしないようにするのに役立ちます。結論として、GB4Pは最高レベルの生産ウエハハンドラです。幅広いウエハータイプの高速・高精度・再現性を実現します。高度なオートメーションコントロール、メカニカルフィーダ、モーションコントロールシステムを備えたGENMARK GB4Pは、歩留まりの向上と生産コストの削減に役立つ優れたウェーハハンドリングを提供します。
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