中古 FANUC M-6iB 6S iC #9111929 を販売中

FANUC M-6iB 6S iCは、半導体材料やデバイスの製造に使用するために設計された産業用ロボットウェーハハンドラです。オペレータの介入を最小限に抑え、1バッチにつき最大20個のウェーハを保持、輸送、位置決めが可能です。このロボットは、高度なトルク監視装置と、ウェーハの正確な配置と輸送のための微調整されたモーションコントロールを備えています。6軸関節アームと一体型コントローラを採用しており、ウェーハの精密な取り扱いのための範囲のリーチと再現性を備えた3D動作を可能にします。ロボットは6つの関節からなる主運動システムを備えており、3次元空間でコンパクトかつ効率的に移動することができます。ジョイントは、最大の柔軟性のために線形運動として構成され、一連のエンコーダとリミットスイッチによって制御され、動きを調整してその位置を追跡します。650Kgの積載量と1800mmまでの範囲を備えたこのロボットは、あらゆるサイズと形状のウェーハに対応できるように設計されており、精度と再現性を確保しています。6軸の手首を手動または電子的に操作して、処理プロセスを細かく制御できます。職場の安全を確保するため、過負荷保護、衝突検知ユニット、緊急停止機能など、複数の安全機能を備えています。現代のほとんどのウェーハ製造システムと互換性があるように設計されており、既存のプロセスにシームレスに統合できます。さらに、RS-232、イーサネット、USBなどのさまざまな通信インタフェースを備えており、異なるシステムとの通信を容易にします。ロボットは高性能のために設計され、± 0。01mmの反復性の800mm/sまでの速度で操作を実行できます。複数の軸、複数のプリセット位置、プログラム可能な機能を使用して複雑なタスクを実行できます。さらに、ロボットが環境を認識して対応できるように設計されたオプションのビジョンガイダンスマシンが付属しています。ロボットは設定と使用が簡単で、ユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、PCまたはPLCを使用してロボットを簡単に制御できます。M-6iB 6S iCウェーハハンドラは、精度、再現性、スピードを備えた半導体ウェーハを扱うために設計された先進産業用ロボットです。ウェーハ製造のための効率的で費用対効果の高いソリューションであり、さまざまな生産環境で使用できます。高性能なムーブメントと安全機能により、ウェーハ処理プロセスの精度と信頼性を保証します。