中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #293604005 を販売中

ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600
ID: 293604005
Wafer metrology system.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600は、集積回路の電気特性を測定および分析するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムにはデジタル顕微鏡が搭載されており、最大25倍の拡大と500×500の解像度で画像をキャプチャできます。さらに、10ナノメートルまでの再現性と直線性の精度のための高速レーザー干渉計を内蔵しています。デジタルイメージングに加えて、ADE UltraScan 9600は、電気特性suchas抵抗、容量、漏れ電流、破壊電圧などの回路特性の詳細な測定も提供します。これは、容量等価モデルのスキャン、ダブルラインスキャン、高速スキャンなどのハイエンドスキャン技術によって可能になります。スキャンエリアとテストポイントは、大型または特殊サイズのウェーハをテストする際の柔軟性を確保するために構成可能です。このユニットは、最先端のウェハレベルのテストと測定、および完全な故障解析と特性評価が可能です。高度な解析機能により、障害領域を迅速に特定し、デバイス設計を検証し、詳細な欠陥レポートを生成できます。これらのレポートは、収量の調査と最適化に使用できる包括的なデータを提供し、製造プロセスの効率を劇的に向上させることができます。このマシンはまた、強力で使いやすいソフトウェアインターフェイスを備えています。このインターフェイスは、テストスイートからのデータを明らかにし、ツールから他のソースにデータを転送するために使用されます。オペレーティングアセットはWindowsベースで、既存のソフトウェアをより詳細な分析に簡単に利用できます。KLA ULTRA SCAN 9600は、高度で汎用性の高いウェーハテストおよび計測モデルであり、Themanufacturingプロセスの品質と効率を確保する上で非常に重要です。このような幅広い機能により、品質管理基準を満たし、それを超える信頼できるツールであることを約束します。
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