中古 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9234990 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9600は、半導体製造プロセスの品質管理とプロセス最適化のために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これにより、ウェーハ表面とパターンの迅速かつ正確な特性評価が可能になり、コストのかかる生産歩留まり損失を最小限に抑えることができます。このシステムは、複数の画像処理、測定、画像解析などの高度な非接触光計測技術を使用しています。カラーCCD（充電結合デバイス）カメラとレーザー回折センサーを内蔵し、8インチウェーハ検査範囲を備えています。また、自動フォーカシングユニットと高速かつ正確な自動パターン認識のための業界をリードするアルゴリズムも含まれています。この計測機は、さまざまな測定技術をサポートしています。線の幅、線の間隔、線の終点、線の角度などの重要な寸法や、総線の輪郭などのより複雑なパラメータを測定できます。また、薄膜の特性評価のための様々な厚さや屈折率を測定するための分光楕円測定にも対応しています。ADE 9600は、最新の統計プロセス制御（SPC）ソフトウェアと統合されており、大規模な生産バッチの評価と分析を可能にします。このツールには、エッジ検出、グレースケールマッピング、クリティカル寸法解析など、幅広い専門ソフトウェアツールが付属しています。これにより、オペレータは多数のウェーハから大量のデータを素早く処理し、不適合ユニットを容易に識別することができます。KLA 9600は、カスタム半導体テストソリューションを作成するために使用できる包括的なプログラム可能なアプリケーション構築環境を誇っています。これには、強力なパターン認識アルゴリズム、すぐに使用できる測定スクリプトのライブラリ、およびC、 C++、 Visual Basicなどの外部プログラミング言語の完全なサポートが含まれます。最後に、高解像度の5。7インチタッチスクリーンディスプレイと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。これにより計測操作が容易になり、測定に必要なユーザーエラーや時間を削減できます。9600は、製造メーカーの半導体製造プロセスの品質と効率を向上させるために設計された強力なウェーハ試験および計測モデルです。高度な非接触光学測定技術、業界をリードする認識アルゴリズム、汎用性の高いソフトウェアツールにより、ユーザーはウェーハ表面の欠陥をすばやく特定して分析することができます。