中古 YAMAZAKI TECHNO 32 SPAW #9221592 を販売中

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ID: 9221592
ヴィンテージ: 2004
Single side polisher Power supply: 220V, 3 Phase 2004 vintage.
YAMAZAKI TECHNO 32 SPAWは、半導体ウェーハに一貫した再現性のある仕上がりを提供するように設計された、高精度、自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、手動介入を排除し、再現可能な精度とパフォーマンスを保証する高度なコンピュータ制御ユニットによって駆動されます。32 SPAWは、高品質で欠陥の少ないウェーハを生成することができる研削および研磨サイクルの高度な制御を可能にします。機械は2つの主要な部品から成っています。1つ目はウェーハステージで、ウェーハをしっかり持ち、素早く回転させるように設計されています。ウェーハステージには、プロセスパラメータの自動調整と効率の最大化を可能にする完全にプログラム可能なサーボモータ制御が装備されています。2番目のコンポーネントは、研削と研磨ホイールで構成される差動駆動ツールです。2つの車輪は精密モーターとインターフェイスされ、精密な速度、および完全な粉砕および磨く周期を保障する回転の一貫した総計力を提供します。このアセットには、プロセスの精度を高める同期空冷モデルと、プロセス中に発生した塵を除去する集塵ユニットが内蔵されています。YAMAZAKI TECHNO 32 SPAWは、均一な表面品質と再現性を実現する高度な光学系も搭載しています。本装置は、レーザーオートフォーカスを使用して、各ウェハの正確な仕様に合わせて研削および研磨パラメータを最適化します。自動表面解析機能により、研削および研磨ホイールを連続的に監視および調整し、ウェーハ表面全体に均一な仕上がりを保証します。32 SPAWは、高精度で一貫性のある大量のウェーハ加工に最適です。自動化された生産のために設計されており、システムのメンテナンスが容易な低コストの所有権を提供します。
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