中古 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9233450 を販売中

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NOVA NovaScan 3090 Next SA
販売された
ID: 9233450
Critical dimension measurement systems BROOKS AUTOMATION 152465 Atmospheric wafer handling robot BROOKS AUTOMATION 109752-452 FabExpress BROOKS AUTOMATION 146847 Robot controller BROOKS AUTOMATION 002-8761-01.
NOVA NovaScan 3090 Next SAは、次世代半導体ウェハファブリケーションの要求の厳しいプロセス制御要件に対応するために設計された強力なウェハテストおよび計測ツールです。この機器には、フル機能のソフトウェアプラットフォームが装備されており、優れた精度と再現性を提供して、ウェハスタートからウェハフィニッシュまで一貫したプロセス制御を保証します。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSAは、トップダウンおよびボトムアップ検査に強力なレーザースキャナーを使用しています。これにより、ウェーハの潜在的な欠陥を最小限の時間とコスト入力で迅速に特定できます。このレーザーベースの検出により、検査プロセス中にさらに小さな欠陥粒子を検出することができ、ウェーハ製造の潜在的な欠陥に関連する歩留まり損失を低減するのに役立ちます。NovaScan 3090 Next SAは、200mm、 300mm、 500mm以上のさまざまなウェーハサイズと形状のスキャンにも対応しています。このシステムは、ウェーハサイズと形状を自動的に検出し、関心のある表面積または領域をスキャンするようにプログラムすることができます。これは、ウェーハのすべての領域が潜在的な欠陥を徹底的に検査されるようにするのに役立ちます。NOVASCAN 3090 NEXTSAが使用するソフトウェアプラットフォームは、欠陥検出および汚染検出、欠陥重大度グレーディング、線幅測定、オーバーレイ測定、臨界次元(CD)測定など、幅広い計測アプリケーションをサポートしています。ソフトウェアは、品質保証(QA)目的のために、複数のウェーハ検査実行からデータを収集、分析、および保存することができます。NOVA NovaScan 3090 Next SAには、正確なCD測定用に設計された高精度の光学顕微鏡を装備することもできます。これは、デバイスがサブミクロンレベルまで、極めて正確に機能を測定できるようにするのに役立ちます。物理設計の面では、NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSAもコンパクトで効率的で人間工学的です。このユニットは床面積を最小限に抑え、可能な限りユーザーフレンドリーに設計されているため、オペレータはさまざまなテストおよび計測タスクを迅速かつ正確に実行できます。全体として、NovaScan 3090 Next SAは、最高品質の半導体製品の生産を確実にするための信頼性の高いプロセス制御を提供する高度なウェーハ試験および計測装置です。このデバイスは、強力なレーザースキャン機能、汎用性の高いソフトウェアプラットフォーム、およびCD測定用の高精度光学顕微鏡を備えており、最小の潜在的欠陥でも正確に検出することができます。人間工学に基づいた設計と効率的なフロアプランは、ウェハ検査プロセスの生産性を最大化するのにも役立ちます。
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