中古 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #9266482 を販売中

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ID: 9266482
ウェーハサイズ: 8"
Double sided lapper / Polisher, 8" With slurry tank with motor For circulating slurry and pump for dispensing slurry Power supply: 415 VAC, 3 Phase.
花王YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lは、最高レベルの均一性と再現性を備えた精密表面の製造を目的とした自動ウェハ研削、ラッピング、研磨装置です。研磨研磨、ラッピング、研磨プロセスを組み合わせて、望ましい結果を得ることができます。KAO-YU KYL-9B-5Lユニットは、真空チャック、回転研削ヘッド、ラッピングヘッドの構成を可能にするモジュラー設計で、生産能力を向上させます。この機械は、高精度のリニアおよび回転運動機能によってさらに区別され、必要に応じてウェーハ基板の信頼性と正確な位置決めと移動を可能にします。また、カオユー精密機械KYL-9B-5Lには、各種インターロックや非常停止回路などの安全機能が搭載されており、オペレータの安全を確保し、適用される安全衛生規則を遵守しています。このツールはさらに、研削および研磨プロセスの高度な制御のためのコンピュータ化モーションコントロールユニット(MCU)を装備しています。このMCUは、高度なモーションプロファイルナビゲーションと編集ソフトウェアを備えており、複雑なモーションプロファイルを使用して最終公差を2,000分の2インチ(0。002インチ)低くすることができます。KAO-YU KYL-9B-5Lは、ラッピングプロセスの微調整を可能にする高精度のデジタル圧力レギュレーションアセットを使用しています。これにより、ウェーハ基板へのストレスを最小限に抑えて、ウェーハ表面の固定石、溝およびその他の異常を最適な基板性能と一貫した除去が保証されます。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lモデルは、光学レーザーと高解像度イメージングカメラを内蔵した光学機器を使用し、研磨前後の基板表面プロファイルの測定と検証が容易に行えます。また、研削ヘッドがかかると自動的に送り速度を制御することも可能です。これにより、研削プロセスの均一性が確保され、ウェーハ表面に存在する異常が除去されます。全体的にKYL-9B-5Lは、高い再現性と信頼性を備えた精密表面を提供することができる高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。自動化されたプロセス制御、精密機械的モーションコントロール、光学測定の組み合わせにより、花王YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L、さまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適な機械です。
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