中古 G&N MPS R400 #9004051 を販売中

G&N MPS R400は、半導体および関連製品の製造に使用される先進的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、純粋なシリコンからヒ素ガリウム、炭化ケイ素、アルミナ、サファイアに至るまで、幅広い材料に対して単一または複数のステップの高性能な研削、ラッピング、研磨を提供するように設計されています。MPS R400は、高速ローターベースの研削ヘッドを備えたマルチプロセスソリューションと、統合ラッピングプレート、研磨パッド、スラリー搬送ユニットを利用しています。研削ヘッドは、振動を低減しながら効率的かつ正確な性能を提供する独自のセルフロックトルク機械で設計されています。ラッピングプレートには、さまざまな材料タイプの異なるグリットサイズのいくつかの取り外し可能なプレートが含まれています。さらに、プレートには摩耗検出ツールも装備されており、プロセス全体にリアルタイムのフィードバックを提供します。磨くパッドは異なった表面の終わりのためにカスタマイズされ、優秀なプロセス一貫性を維持しながら均一な磨くことを保障する回転メカニズムがあります。スラリー配送資産には、高速ノズルと投与バルブが装備されており、すべての部品が均等に研磨されるように一貫した流量で一貫した材料を提供します。G&N MPS R400は、高度なコントローラと電子制御でも設計されています。コントローラは、各プロセスを監視および最適化するだけでなく、オペレータがモデルの機能を監視することができる詳細なプロセスレポートを提供することができます。さらに、装置を生産ラインまたは集中機械に統合し、クリーニング、パッケージング、テストなどの他の生産システムと相互接続することができます。MPS R400は、高精度で再現性の高い様々な半導体製品の優れた生産を可能にする信頼性と精度の高いシステムです。各工程を監視・管理する必要がある自動化された作業に最適なソリューションです。