中古 CUSTOM 72" #9200593 を販売中

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CUSTOM 72"
販売された
ID: 9200593
Lapper / Polisher With optical pitch No pitch cutter Includes: (3) Rings / Workstations Conditioner Jigs / Carriers.
カスタム72インチウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、マイクロエレクトロニクス業界向けのウェーハおよび基板の精密ラッピング、研磨、研削用に設計された産業システムです。このユニットは非常に精密で信頼性が高く、エッジと平坦性の仕上げ、面取り、パターニング、拡張プロセスエリアまたは小細部のパターニング、および多数のプロセスパラメータなどの幅広いプロセス機能をユーザーに提供します。機械はモーター、ドライブ、潤滑および粉砕およびラッピングブロックを含んでいるテーブルによって取付けられるハウジングから成っています。装置は可変速度、可逆性、最大10馬力を提供することができる三相モーターによって運転されます。モーターはテーブルに取り付けられたベルト駆動工具に取り付けられ、回転速度と方向を調整することができます。ラッピングと研削ブロックは調整可能で、研削ブロック用の多結晶ダイヤモンド(PCD)とラッピングブロック用のホウケイ酸ガラスから作られています。72インチアセットは高度に自動化されており、ユーザーがプロセスの各ステップを正確に制御できる高度なプロセス制御ソフトウェアが装備されています。このモデルには、速度、圧力、バッキング速度、パターニングおよびプロセスウィンドウ、トラック幅などのプロセスパラメータの調整可能な範囲があります。そのフィードバックループと高度なアルゴリズムにより、自動フィードバックと継続的なパラメータ最適化が可能になります。ウェーハ加工には、一度に最大6台のウェーハに対応できる高性能ウェーハキャリアを搭載したCUSTOM 72"装置を搭載しています。精密研削やラッピングなどの研削用途には、高圧空気圧または油圧フィードを使用して正確な位置決めと圧力制御を提供します。72インチユニットは、ウェーハ製造、フラットパネルディスプレイ製造、集積回路製造、オプトエレクトロニクス、太陽電池製造の分野で幅広い用途に適しています。機械は優秀な端の終わり、正確さ、一貫性および反復性を提供し、あなたの特定の必要性および条件に容易に形成することができます。また、エネルギー効率が高く、優れた性能と品質を提供しながら、費用対効果の高いソリューションを提供します。
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